热键合

作品数：32被引量：98H指数：7
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热等静压工艺对Yb:YAG复合激光晶体性能影响
《光子学报》2024年第11期92-103,共12页陈照 刘文鹏 孙彧 蒋金宏 高进云 王小飞 孙贵花 窦仁勤 张德明 罗建乔 张庆礼 
安徽省科技重大专项(No.202203a05020002);国家自然科学基金(No.52272011);国家重点研究发展计划(Nos.2022YFB3605703,2023YFB3507403);中国科学院青年创新促进会(No.2023463)。
由于施压不均匀、升温时温场分布不均匀等因素,键合晶体键合面上会产生气泡、孔洞、裂纹等缺陷。将热等静压技术与热键合技术结合,控制热等静压参数,可减少或消除键合晶体烧结后的内部缺陷。对键合晶体在不同温度、压强、恒温时间进行...
关键词：热键合 热等静压 复合激光晶体 YB:YAG 透过光谱 弯曲强度 光学均匀性 
热键合、凹端面及晶体棒直径对Er∶YSGG中红外激光性能的影响
《光谱学与光谱分析》2024年第2期571-579,共9页程毛杰 董昆鹏 胡伦珍 张会丽 罗建乔 权聪 韩志远 孙敦陆 
国家自然科学基金项目(51872290,52102012);安徽省先进激光技术实验室青年基金项目(AHL2020QN02)资助。
对热键合、凹端面及不同直径Er∶YSGG晶体棒的中红外激光性能进行了系统对比研究。晶体经高温退火、定向切割、端面精密抛光后,测量得到其平面度和表面粗糙度分别小于0.1λ@633 nm和0.5 nm。通过精密加工实现了YSGG与Er∶YSGG室温光胶,...
关键词：热键合 Er∶YSGG激光晶体 凹端面 LD侧面泵浦 2.79μm中红外激光 斜效率 光束质量因子 
玻璃平面波导的热键合制备与界面扩散研究
《红外与激光工程》2022年第12期293-299,共7页张春瑞 李顺光 胡丽丽 何冬兵 
国家自然科学基金(61875216)。
铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势,可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质,具有重要意义。文中应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导,研究了预键合阶梯升温过程对键合...
关键词：铒镱共掺磷酸盐玻璃 平面波导 热键合 固-固界面扩散 
热键合技术发展现状研究
《中国科技投资》2013年第17X期49-49,共1页李晓敏 张燕 
山东协和学院科技项目--热键合技术对改善激光性能的研究资助(XHXY201104)
热键合技术能够很好的补偿激光晶体的热透镜效应,从而提高光束质量。本文阐述了热键合技术的发展现状,为热键合技术的深入研究提供了理论参考。
关键词：热效应 热键合 复合晶体 
逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道
《真空科学与技术学报》2013年第12期1270-1275,共6页涂吕星 王旭迪 葛良进 金建 付绍军 
热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该方法利用UV胶带在紫外曝光前后粘附力变化的特点,通过模板浇注...
关键词：逆向热键合 SU-8 UV胶带纳米通道 
薄膜微电极在热键合过程中的断裂行为研究
《机械设计与制造》2013年第12期131-134,共4页乔红超 刘军山 赵吉宾 王立鼎 
国家自然科学基金项目(50605006);国家973项目(2007CB714502);国家科技重大专项(2011ZX02401)
为了实现真正意义上的芯片实验室,金属微电极正在成为微流控芯片的重要组成部分。针对铜薄膜微电极在热键合过程中的断裂问题,利用断口分析技术研究了其断裂行为。分析了多种制备断口的方法并利用精密的自动砂轮划片机制备出了理想的断...
关键词：微流控芯片 热键合 微电极 断口分析 断裂机理 
复合晶体内部热分布的研究
《中国高新技术企业》2013年第21期11-12,共2页李晓敏 张燕 
山东协和学院科技项目--热键合技术对善激光性能的研究资助(XHXY201104)
复合晶体比单一晶体具有更好地热效应,在高功率固体晶光器方面有广阔的应用前景。文章研究了Nd:YVO4/YVO4复合晶体内部的热分布,从理论和试验模拟两方面分析了复合晶体内部的温度梯度分布。
关键词：热键合 复合晶体 单一晶体 
热键合技术发展现状研究被引量：2
《中国科技投资》2013年第A19期187-187,共1页李晓敏 张燕 
山东协和学院科技项目--热键合技术对改善激光性能的研究资助（XHXY201104）
热键合技术能够很好的补偿激光晶体的热透镜效应，从而提高光束质量。本文阐述了热键合技术的发展现状，为热键合技术的深入研究提供了理论参考。
关键词：热效应 热键合 复合晶体 
热键合Nd：YVO4/YVO4复合晶体激光特性的研究
《科教导刊》2011年第21期147-148,共2页李晓敏 张燕 卓壮 
为改善高功率激光器激光工作物质的热效应，采用一种热效应较小的复合晶体Nd：YVO4/YVO4，利用z型折叠腔，研究了在高功率激光二极管端面泵浦的情况下复合晶体的激光特性。当泵浦功率为24．65W时，获得了12．5W的1．06μm红外输出，光-...
关键词：热键合 Z型折叠腔Nd:YVO4/YVO4复合晶体 
粉末涂料
《涂料技术与文摘》2010年第12期49-49,共1页
伸长的管状工件上的可熔聚合物粉末涂料 一种在伸长的管状工件[在该工件（如管道）周围具有表面延展]上涂覆一种聚合物热键合粉末涂料的方法。将该工件加热至一定温度，此时粉末与表面键合。将该粉末喷涂至热工件表面，可使该粉末与该...
关键词：粉末涂料 工件表面 表面键合 表面涂层 热压力 粉末喷涂 聚合物 热键合 
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