椭偏仪

作品数：133被引量：369H指数：10
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广义椭偏仪双补偿器任意比例旋转控制系统被引量：1
《探测与控制学报》2024年第2期125-130,共6页谢大洋 刘政杰 薛鹏 张瑞 
国家自然基金项目(62105302);山西省基础研究计划项目(20210302124269)。
针对目前广义椭偏仪双旋转补偿器控制旋转比例单一的问题,提出一套基于STM32单片机与步进电机的广义椭偏仪双补偿器任意比例旋转控制系统。该系统采用STM32F1单片机进行编程控制两个步进电机旋转的基础速度、速度比、旋转光学周期数,并...
关键词：广义椭偏仪 双旋转补偿器 速度调控 控制系统 
单电机驱动广义椭偏仪变角结构设计与实现
《应用光学》2023年第3期507-512,共6页刘政杰 薛鹏 陈媛媛 刘燕霖 谢大洋 张瑞 
国家自然科学基金(62105302);山西省青年科学基金(20210302124269)。
针对目前常见广义椭偏仪变角结构多采用双电机驱动,且存在结构复杂、变角后光路存在偏离等问题,论文提出一种单电机驱动广义椭偏仪新的变角结构。该结构采用固定起偏臂,利用同步齿轮传动单电机驱动方式使载物台和检偏臂同步旋转,实现椭...
关键词：单电机驱动 广义椭偏仪 变角结构 同步齿轮 穆勒矩阵 
单电机驱动椭偏双补偿器旋转结构及系统控制被引量：6
《激光杂志》2021年第12期39-43,共5页林聪 张瑞 薛鹏 尚琰 刘政杰 徐跃 
山西省面上自然基金项目(No.201901D111158);山西省面上青年基金项目(No.201801D221211);山西省创新项目(No.2019L0530)。
针对目前双伺服电机控制补偿器旋转的椭偏测量技术中电机同步旋转控制复杂,且探测器同步信号触发采集困难、长时间运行稳定性差等缺点。提出一种基于单电机驱动的双相位补偿器旋转结构以及控制方法。该结构中与伺服电机连接的同步齿轮...
关键词：椭偏仪 穆勒矩阵 单电机驱动 双旋转补偿器 
弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术被引量：9
《光学精密工程》2016年第4期690-697,共8页李克武 王黎明 王志斌 张瑞 薛瑞 陈友华 
国家国际科技合作专项(No.2013DFR10150);国家自然科学基金资助项目(No.61127015;No.61471325;No.61505179;山西省青年科技研究基金资助项目(No.2014021012)
利用弹光调制器的偏振调制优势,提出了将弹光调制器和电光调制器级联的组合相位调制型椭偏测量术。该技术采用单光路实现信号探测,通过切换电光调制器的两个工作状态,并结合数字锁相信号处理技术来完成样品反射光的p分量和s分量的幅值...
关键词：椭偏仪 相位调制型椭偏测量术 弹光调制 电光调制 
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