云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 椭偏仪

椭偏仪: 作品数：133被引量：369H指数：10; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：刘世元陈修国张传维谷洪刚李锁印更多>>; 相关机构：华中科技大学武汉颐光科技有限公司中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>

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基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量被引量：5: 《物理学报》2014年第18期148-159,共12页陈修国刘世元张传维吴懿平马智超孙堂友徐智谋; 国家自然科学基金(批准号:91023032;51005091);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ160002);教育部长江学者和创新团队发展计划资助的课题~~; 在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵...; 关键词：纳米压印纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪测量准确度