外延法

作品数:94被引量:158H指数:7
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Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+δ)薄膜的分子束外延法制备及结晶性
《金属学报》2009年第6期663-672,共10页张炳森 李茂林 王晶晶 孙本哲 祁阳 
国家自然科学基金资助项目50572013~~
在BiO-(Sr+Ca)O-CuO相图上的Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+δ)(Bi-2212)相附近选择不同成分,用分子束外延法制备成薄膜,利用XRD,EDS,SEM和AFM研究了成分、衬底温度和臭氧分压对Bi-2212相薄膜成相的影响,分析了生长速率和错配度对Bi-2212相薄膜质...
关键词:Bi2Sr2CaCu2O8+δ薄膜 分子束外延 衬底温度 臭氧分压 生长速率 错配度 
高浓度臭氧在分子束外延法制备Bi系氧化物薄膜中的应用被引量:2
《金属学报》2008年第6期647-651,共5页张炳森 于晓明 孙霞光 李茂林 张彩碚 祁阳 
国家自然科学基金50572013
利用硅胶吸附解吸臭氧原理自制了臭氧浓缩装置,通过此装置制备的高浓度臭氧作为分子束外延制备Bi系氧化物薄膜的氧化源.在臭氧浓缩装置中,硅胶温度保持在-85℃左右,工作6h,可获得浓度(摩尔分数)高于95%的臭氧.当臭氧浓缩装置...
关键词:臭氧 浓缩装置 Bi系氧化物薄膜 分子束外延 
晶格形变情况下Ga-In-As体系热力学研究
《金属学报》1994年第4期B145-B149,共5页沈剑韵 
由已有热力学和相图实验数据,用Calphad技术优化出一组描述Ga-In-As三元体系热力学性质的数学模型,定量估算了在用外延法制作III-V族化合物时,由于外延层和衬底晶格不匹配,外延分子晶格弹性形变的形变能对固液...
关键词:相图 外延法 晶格 镓铟砷体系 变形 
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