于晓明

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：东北大学理学院更多>>
发文主题：分子束外延液相沉积超导SI衬底臭氧更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《东北大学学报（自然科学版）》《金属学报》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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V型沟槽Si衬底上SrTiO_3薄膜制备
《东北大学学报（自然科学版）》2011年第11期1607-1610,共4页王旗 于晓明 祁阳 
国家自然科学基金资助项目(10874022)
在单晶Si(100)衬底以及经过改型处理的侧壁为Si(110)"V"型沟槽衬底上,分别采用液相沉积(LPD)和射频磁控溅射法(RF magnetron sputtering)制备了SrTiO3(STO)薄膜.通过对沉积溶液的温度、衬底的表面处理方法、衬底的放置方式以及热处理工...
关键词：液相沉积 射频磁控溅射法 STO薄膜 V型沟槽 表面形貌 
高浓度臭氧在分子束外延法制备Bi系氧化物薄膜中的应用被引量：2
《金属学报》2008年第6期647-651,共5页张炳森 于晓明 孙霞光 李茂林 张彩碚 祁阳 
国家自然科学基金50572013
利用硅胶吸附解吸臭氧原理自制了臭氧浓缩装置，通过此装置制备的高浓度臭氧作为分子束外延制备Bi系氧化物薄膜的氧化源．在臭氧浓缩装置中，硅胶温度保持在-85℃左右，工作6h，可获得浓度（摩尔分数）高于95％的臭氧．当臭氧浓缩装置...
关键词：臭氧 浓缩装置 Bi系氧化物薄膜 分子束外延 
Bi_(2.1)Ca_ySr_(1.9-y)CuO_(6+δ)薄膜制备及性能被引量：1
《稀有金属材料与工程》2008年第A04期133-136,共4页张炳森 孙霞光 李茂林 于晓明 张彩碚 祁阳 
国家自然科学基金(50572013)资助
利用分子束外延法在MgO(100)衬底上制备Bi2.1CaySr1.9-yCuO6+δ薄膜。薄膜的结构、外延性、化学计量比及表面形貌通过X射线衍射仪、X射线能谱仪及扫描电子显微镜表征,薄膜的R-T曲线通过标准四引线法测量。结果表明,Bi2.1CaySr1.9-yCuO6...
关键词：Bi系氧化物薄膜 超导 分子束外延 
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