微动台

作品数：46被引量：156H指数：7
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光刻机微动台的运动解耦及位置控制研究被引量：2
《自动化技术与应用》2015年第7期30-35,共6页魏凯 王伟峰 范文超 陈兴林 
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项(2009ZX02207)
在分析了光刻机掩膜台微动台(简称微动台)结构的基础上,对微动台的六自由度运动进行了几何解耦,将其分解为两个三自由度上的解耦,并从实际系统的角度出发完成了解耦计算。最后针对微动音圈电机位置控制,提出了基于线性扩张状态观测器的...
关键词：微动台 运动解耦 扩张状态观测器 增量式PID 
光刻机掩模台微动台建模及控制系统仿真
《自动化技术与应用》2015年第3期76-80,共5页张之万 徐加彦 强盛 
光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位。掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率。本文介绍了运动控制中常用的三环PID控制方法。此方法易于调试,控制精度高。分析了磁悬浮平台结构的摩擦阻力特性。通过实...
关键词：光刻机掩模台 三环PID控制 传递函数建模 
光刻机掩模台微动台建模及控制系统仿真仪器仪表与检测技术被引量：2
《自动化技术与应用》2014年第11期57-61,66,共6页张之万 徐加彦 陈兴林 强盛 
光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位。掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率。本文介绍了运动控制中常用的三环PID控制方法。此方法易于调试,控制精度高。分析了磁悬浮平台结构的摩擦阻力特性。通过实...
关键词：光刻机掩模台 三环PID控制 传递函数建模 
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