微反射镜

作品数：52被引量：63H指数：4
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相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光电子信息快报》更多>>
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8×8 MEMS光开关阵列的制作
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期343-346,共4页贾翠萍 董玮 周敬然 刘彩霞 臧会东 玄伟 徐宝琨 陈维友 
吉林省科技发展计划资助项目(批准号:20050319)
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开...
关键词：光开关 (110)硅片 微反射镜 开关时间 
利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究被引量：5
《Journal of Semiconductors》2004年第1期99-103,共5页张龙 董玮 张歆东 刘彩霞 陈维友 徐宝琨 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002 AA312023);国家自然科学基金(批准号:69937010);吉林省科学计划(批准号:20010319);跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目
采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法,利用(110)硅片结晶学特性,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构,器件的一致性好,制作工艺简单.利...
关键词：微反射镜 {111}面 湿法腐蚀 粗糙度 氢氧化钾溶液 
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