微机械陀螺仪

作品数：117被引量：355H指数：9
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静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究被引量：3
《测试技术学报》2010年第4期334-338,共5页王瑞荣 杜康 石云波 刘俊 
国家自然科学基金资助项目(50675212)
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器...
关键词：静电驱动 压阻检测 结构设计 微机械陀螺 加工工艺 
飞行体姿态测试方法研究
《测试技术学报》1998年第2期68-72,共5页王广龙 祖静 
本文在综合分析姿态测试方法的耻，提出采用微机械陀螺仪测试某型炮射导弹姿态的方法，并对该方法进行了研究。
关键词：姿态测试 微机械陀螺仪 炮射导弹 飞行体 
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