微开关

作品数：24被引量：39H指数：3
导出分析报告
相关领域：电气工程电子电信更多>>
相关作者：丁桂甫杨杰张照云刘显学杨银堂更多>>
相关机构：上海交通大学西安电子科技大学中国工程物理研究院电子工程研究所中国科学院更多>>
相关期刊：《电子测试》《中国民航大学学报》《仪器仪表学报》《集成电路通讯》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国工程物理研究院科技发展基金武器装备预研基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 学科=机械工程x
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
全天时星敏感器视场选通成像系统的微开关阵列设计
《光子学报》2023年第4期74-84,共11页方亮 汪为民 王强 程欣 范真节 张辉 赵汝进 刘恩海 
国家重点研究发展计划(No.2019YFA0706001);中国科学院“西部之光”人才培养引进计划(No.YA19K008)。
针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑梁宽...
关键词：全天时星敏感器 视场选通 背景光抑制 静电驱动 微开关阵列 占空比 响应时间 
基于LIGA技术的光热驱动微开关研究被引量：2
《光学仪器》2011年第2期33-37,共5页林星 赵冬伟 王波 伊福廷 张冬仙 
国家863计划资助课题(2006AA04AZ237)
设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真,揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系;基于同步辐射光源及LIGA技术,以金属镍(Ni)为基底材料,微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾...
关键词：LIGA 光热驱动 微开关 ANSYS仿真 光热偏转量 
用混合Petri网对微开关加工系统建模和仿真被引量：2
《仪器仪表学报》2004年第z3期98-100,共3页胡红革 宋亚辉 黄大贵 
半导体加工系统是一个非常复杂的、离散事件和连续时间相结合的混合动态系统,离散Petri网不能很好地对这样的系统进行建模和分析,混合Petri网可以很好地描述半导体加工系统的静态属性及动态行为。实际上,运用离散Petri网将面临状态爆炸...
关键词：半导体加工系统 混和Petri网 微开关 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部