微开关

作品数：24被引量：39H指数：3
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基于ANSYS悬臂梁式微开关动态特性的分析
《中国民航大学学报》2008年第6期18-22,共5页丁芳 李艳芳 
利用ANSYS软件采用顺序耦合法对静电驱动悬臂梁式微开关进行力电耦合分析,得出了微开关的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响;在动态分析的基础上,详细分析了微开关结构参数和其动态临界电压的关系。分析结果表明:动态临界...
关键词：微开关 动态特性 ANSYS分析系统 耦合分析 
静电驱动悬臂梁式微开关的动态特性分析被引量：1
《中国民航大学学报》2008年第3期26-29,共4页丁芳 李艳芳 
通过建立静电驱动悬臂梁式微开关的非线性动力学简化模型,利用数值方法求解出系统的动态响应特性,得到了动态吸合电压和开关吸合时间的关系,并详细分析了其动态响应中的非线性现象以及动态特性和静态特性的不同。计算结果表明,动态吸合...
关键词：微开关 悬臂梁 静电驱动 动态特性 
静电式微开关硅悬臂梁的变形分析被引量：9
《传感器技术》2001年第12期29-31,共3页陈广文 许高攀 胡国清 
介绍了一种计算微开关的硅悬臂梁在电场力作用下的变形的方法 ,由于作用在梁上的载荷随着梁的变形而变化 ,用积分法计算存在相当困难 ,以下提出了一种计算变形的新方法 :将梁分为m个小段 ,则梁上的分布力可近似为m个集中力 ,将初始均布...
关键词：硅悬臂梁 变形分析 增量法 微开关 MEMS 微加工 
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