微麦克风

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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：刘理天任天令李志坚张林涛陈兢更多>>
相关机构：清华大学歌尔声学股份有限公司桂林电子科技大学东华大学更多>>
相关期刊：《计算机应用与软件》《压电与声光》《微纳电子技术》《清华大学学报（自然科学版）》更多>>
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用于压电和电容微麦克风的体硅腐蚀相关研究
《压电与声光》2006年第1期117-119,共3页贾泽 杨轶 陈兢 刘建设 任天令 刘理天 
用溶胶-凝胶法制备的锆钛酸铅压电薄膜的微麦克风和纹膜电容式微麦克风都是基于微电子机械系统技术的硅基单片微麦克风。在其工艺制作过程中，在表面硅微加工之后进行体硅的湿法腐蚀，由此产生了硅片的正面保护和体硅腐蚀的控制等新的...
关键词：微麦克风 微电子机械系统 锆钛酸 压电 体硅腐蚀 自停止 
铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计
《压电与声光》2000年第4期234-236,共3页任天令 张林涛 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金资助项目!(69806007)
在现有 Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出并设计了可集成在同一芯片上的基于ＰＺＴ铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构，对其灵敏度和声输出进行了理论计算。比较了基于 ＰＺＴ和 ＺｎＯ两种材料的...
关键词：微麦克风 微扬声器 铁电薄膜 硅 设计 
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