贾泽

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：铁电存储器集成电路设计铁电电容铁电半导体集成电路更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《电子技术应用》《压电与声光》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
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集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响(英文)
《纳米技术与精密工程》2011年第4期357-363,共7页张明明 贾泽 尹聪 王林凯 任天令 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA01Z115);国家科技重大专项资助(2009ZX02023-1-3)
通过将溶胶凝胶法制备的锆钛酸铅(PZT)在非晶态和多晶态进行刻蚀,对比未经刻蚀的PZT性能,研究了集成工艺中湿法刻蚀造成极化和耐久性能退化的机理.PZT的结晶图谱和表面形貌分析发现,湿法刻蚀中产生的非铁电成分由于具有较小的介电常数,...
关键词：锆钛酸铅 湿法刻蚀 性能退化 尺寸 刻蚀损伤 
一种高速高可靠电压型灵敏放大器设计被引量：1
《电子技术应用》2010年第5期143-147,共5页王艺燃 于宗光 贾泽 
科技部十一五863计划专题课题(2009AA01Z115);江苏省自然科学基金(BK2007026);江苏省"333"人才工程项目(20070124)
提出了一种新型的带有阈值电压失配补偿能力的电压灵敏放大器,该结构可实现对电压信号的快速灵敏放大以及输入端的补偿。在SMIC0.15μm1P5MlogicCMOS工艺条件下,较传统灵敏放大器结构,该灵敏放大器可在基本维持相同功耗和面积水平的同时...
关键词：灵敏放大器 阈值电压 补偿 成品率 
用于压电和电容微麦克风的体硅腐蚀相关研究
《压电与声光》2006年第1期117-119,共3页贾泽 杨轶 陈兢 刘建设 任天令 刘理天 
用溶胶-凝胶法制备的锆钛酸铅压电薄膜的微麦克风和纹膜电容式微麦克风都是基于微电子机械系统技术的硅基单片微麦克风。在其工艺制作过程中，在表面硅微加工之后进行体硅的湿法腐蚀，由此产生了硅片的正面保护和体硅腐蚀的控制等新的...
关键词：微麦克风 微电子机械系统 锆钛酸 压电 体硅腐蚀 自停止 
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