微显示器件

作品数：15被引量：41H指数：3
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发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备被引量：1
《微细加工技术》2005年第4期76-80,共5页金霞 梁静秋 李佳 赵莉娜 王维彪 
吉林省科技发展计划资助项目(20030513)
分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸。采用湿法腐蚀方法对金属层、p-GaP层及多层AlGaInP进行了逐层腐蚀,完成了宽2μm深6μm的上隔离沟槽的制作。腐蚀后的上隔离沟槽边缘平整,其深度和宽度可以解决注入电流在相邻像素之间产生的...
关键词：微显示器件 发光二极管阵列 隔离沟槽 湿法腐蚀 欧姆接触 ALGAINP GAP 
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