微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
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相关作者：薛长国张青川滕艳华吴尚犬伍小平更多>>
相关机构：中国科学技术大学中国科学院安徽理工大学天津大学更多>>
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毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作被引量：2
《压电与声光》2016年第4期562-565,共4页苗斌 李加东 张轲 吴东岷 
江苏省科技支撑计划工业部分基金资助项目(BE2013056);自然科学基金资助项目(61573346;61104226);中国科学院青年促进会人才基金资助项目(2014278);应用光学国家重点实验室基金资助项目
随着微纳技术、生物医学、航空航天等领域的发展,微小力值的计量得到了越来越广泛的应用。针对无源悬臂梁力值传感器的使用需求,研究了影响悬臂梁弹性系数的因素,设计了一组弹性系数为0.041-21.125N/m的无源悬臂梁力值传感器件,采用基...
关键词：力值计量 悬臂梁 弹性系数 微机电系统 绝缘衬底上的硅(SOI) 
基于BST微悬臂梁横向挠曲电系数的测定被引量：5
《压电与声光》2014年第5期798-800,804,共4页李康 骆英 徐晨光 许伯强 王晶晶 桑胜 
教育部博士点基金优先发展领域课题基金资助项目(20123227130002);国家自然科学基金资助项目(11272138)
挠曲电材料具有高力电耦合系数、尺度效应及对环境温度无特定要求等特点,有望用于传感器、作动器及结构健康监测等领域。基于钛酸锶钡(BST)微悬臂梁结构,实验分析了横向挠曲电系数对驱动频率的依赖关系,并讨论了尺度效应。利用压电微驱...
关键词：钛酸锶钡(BST) 挠曲电效应 应变梯度 电极化 微悬臂梁 
基于ANSYS的压电微悬臂双梁的有限元分析被引量：18
《压电与声光》2011年第4期557-560,565,共5页缪建 朱若谷 
国家自然科学基金资助项目(50675214)
提出一种新型的对偶子式的压电微悬臂双梁,采用简化的等效器件建立数学分析模型,利用ANSYS对这种对偶子微悬臂梁进行模拟仿真分析,得出微悬臂梁的振型、固有频率及其在受外加负载时的形变和电压输出。同时分析微悬臂梁的几何尺寸对它们...
关键词：微悬臂梁 ANSYS 压电效应 有限元法 压电分析 模态分析 
液体中基于动态微悬臂梁的质量检测技术被引量：1
《压电与声光》2008年第3期379-381,384,共4页房轩 李艳宁 丁丽丽 史晓杰 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(5030502550675152)
当利用微悬臂梁动态模式的基频谐振在液体环境检测微弱被测量时，液体中的流体动力阻尼导致检测灵敏度降低。针对此问题，提出了利用微悬臂梁的高次谐振进行质量检测的方法。对于相同的被测量质量变化，微悬臂梁的谐振次数越高，其频率...
关键词：原子力显微镜 微悬臂梁 动态检测 敏感层 
微悬臂梁谐振技术检测溶液粘度的研究被引量：2
《压电与声光》2005年第5期572-574,共3页李艳宁 唐洁 饶志军 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(50305025);天津市自然科学基金资助项目(F204008);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
提出了一种测量溶液粘度的微悬臂梁谐振技术。推导了溶液粘度与微悬臂梁的谐振频率的理论关系式,并利用原子力显微镜的微悬臂梁测量了不同质量分数的甘油溶液和蔗糖溶液的粘度。与落球法测量结果的比较表明,利用微悬臂梁谐振频率技术测...
关键词：粘度 微悬臂梁 谐振频率 原子力显微镜 
压电谐振式微悬臂梁气体传感器被引量：4
《压电与声光》2003年第5期358-362,共5页周嘉 黎坡 黄宜平 张松 周峰 杨芃原 鲍敏航 
国家自然科学基金(30170266)
介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行。在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10^(-6)范围内的响应呈指数衰减,在...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 微悬臂梁 气敏传感器 
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