饶志军

作品数：4被引量：13H指数：1
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：微机电系统激光烧蚀脉冲激光纳机电系统PLC控制更多>>
发文领域：电子电信机械工程化学工程更多>>
发文期刊：《压电与声光》《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金天津市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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微悬臂梁谐振技术检测溶液粘度的研究被引量：2
《压电与声光》2005年第5期572-574,共3页李艳宁 唐洁 饶志军 傅星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(50305025);天津市自然科学基金资助项目(F204008);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
提出了一种测量溶液粘度的微悬臂梁谐振技术。推导了溶液粘度与微悬臂梁的谐振频率的理论关系式,并利用原子力显微镜的微悬臂梁测量了不同质量分数的甘油溶液和蔗糖溶液的粘度。与落球法测量结果的比较表明,利用微悬臂梁谐振频率技术测...
关键词：粘度 微悬臂梁 谐振频率 原子力显微镜 
一种新型STM纳米计量仪
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2004年第12期1069-1072,共4页李艳宁 饶志军 唐洁 宋晓辉 胡晓东 付星 胡小唐 
国家自然科学基金资助项目(50305025);天津市自然科学基金项目(F204008).
阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫...
关键词：扫描隧道显微镜 Ahbe误差 柔性铰链 激光干涉仪 
纳机电系统被引量：10
《纳米技术与精密工程》2004年第1期1-7,共7页胡小唐 李源 饶志军 胡春光 傅星 
纳机电系统 (NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域 ,同时也是纳米技术的重要组成部分 .文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性 ,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用 .最后讨论了NEMS在...
关键词：微机电系统 纳机电系统 纳米技术 NEMS 
脉冲激光MEMS加工技术被引量：1
《微纳电子技术》2003年第7期159-163,共5页李艳宁 唐洁 饶志军 宋晓辉 胡晓东 傅星 胡小唐 
国家高技术研究发展专项基金资助项目(2 0 0 2AA40 40 90 7);教育部留学回国人员科研启动基金项目
阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统 (MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米 /亚微米加工精度 ,且适用于多种材料 ,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到...
关键词：脉冲激光 MEMS加工技术 微机电系统 激光烧蚀 集成电路 
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