物镜

作品数：934被引量：1701H指数：16
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大数值孔径宽光谱折反式物镜设计(特邀)
《红外与激光工程》2023年第9期58-64,共7页严冬 国成立 刘泉 黎发志 余晨阳 马洋 张宇龙 闫力松 
湖北省自然科学基金面上项目(2022CFB099)。
为了满足半导体缺陷检测系统对成像系统高分辨的要求,依据系统的特点和设计指标,设计了一种近紫外-可见光大数值孔径折反式物镜。在近紫外-可见光波段对光学玻璃材料的色散特性进行分析,通过二级光谱理论计算,选择合适的玻璃材料,对光...
关键词：宽光谱 大数值孔径 折反式物镜 物镜设计 光学设计 
用于亚公里级三维成像的全光相机主物镜设计被引量：1
《红外与激光工程》2022年第3期297-303,共7页冀鹏州 穆郁 张晨钟 孟军合 赵侃 徐大维 
全光相机可以在成像后进行重聚焦,并且一次曝光就可以同时获取目标的位置信息和方向信息。相较于主动测距方法和传统的被动测距方法,基于全光相机的深度测量方法具有不易被侦查和易于标定的优势。基于全光相机的三维成像技术是集前端光...
关键词：三维成像 全光相机 主物镜 光学设计 亚公里级 
连续变焦偏振视频显微物镜设计被引量：2
《红外与激光工程》2020年第8期266-271,共6页刘鑫 常军 陈蔚霖 杜杉 武楚晗 许祥馨 朱懿 
国家自然科学基金(61471039);国家重点研发计划。
针对传统显微镜在低照度环境时成像对比度低、识别难度大等问题,提出结合分焦平面偏振成像技术,设计了一款含三个移动组的五组元连续变焦偏振视频显微物镜。该物镜工作在可见光波段,变倍范围为1×-6.5×,物方线视场1.70~11.1 mm,全长220...
关键词：连续变焦 偏振成像 视频显微镜 光学设计 
高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计被引量：13
《红外与激光工程》2019年第8期170-176,共7页毛姗姗 李艳秋 刘克 刘丽辉 郑猛 闫旭 
国家科技重大专项(ZX02702001-002);国家自然科学基金(61675026);国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(11627808)
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。...
关键词：物镜系统设计 几何光学设计 自由曲面 极紫外 
长工作距变焦显微系统物镜设计被引量：2
《红外与激光工程》2019年第6期410-415,共6页张润泽 陈宇 张家铭 李阳 张健 
吉林省发改委产业创新专项资金(2017C037-1)
激光内雕机在进行激光内雕时,经常会存在激光"炸点"不均匀的情况,需要对其进行放大分析,从而更好地控制激光束的能量。根据企业激光内雕"炸点"观察需求,设计了一款长工作距变焦显微物镜。玻璃内部的"炸点"观察范围为9~32 mm,系统采用光...
关键词：长工作距离 变焦显微物镜 光学设计 激光“炸点” 
长焦距同轴四反射镜光学系统设计被引量：12
《红外与激光工程》2019年第1期197-206,共10页陈丽 刘莉 赵知诚 李瀛搏 傅丹鹰 沈为民 
国家重点研发计划(2016YFB0501300;2016YFB0501302;2016YFB05500501-02);江苏高校优势学科建设工程
低成本、高性能对地遥感微纳卫星是当前研究和开发的热点,为适应微纳卫星平台,要求空间相机具备小型、轻量化的特点。在其体积和质量的限制下,设计结构尽可能紧凑的长焦距大视场望远物镜是成功研制高分辨率对地遥感光学相机的关键,研究...
关键词：光学设计 对地遥感相机 长焦距 同轴四反射望远物镜 无二次遮拦 
深紫外光刻投影物镜的三维偏振像差被引量：2
《红外与激光工程》2018年第8期237-244,共8页贺文俊 贾文涛 冯文田 郑阳 刘智颖 付跃刚 
国家自然科学基金(11474037)；吉林省科技创新人才培育计划青年科研基金(20160520015JH)；吉林省优秀青年人才基金(20180520201JH)
深紫外光刻投影物镜是光刻机的核心部件,然而无论是照明光场偏振态的空间分布,还是光刻投影物镜自身的偏振像差都将改变光束的紧聚焦特性,对成像质量造成不可忽略的影响。基于三维琼斯矩阵,把偏振像差函数推广到三维空间,建立了三维相...
关键词：偏振 光刻投影物镜 偏振像差 像质评价 波像差 
近红外大数值孔径平场显微物镜设计被引量：6
《红外与激光工程》2017年第7期180-186,共7页周恩源 刘丽辉 刘岩 曹振 
国家自然科学基金(61435005)
为满足飞秒激光微纳加工系统对高加工精度和大加工范围的需求,首先确定了该系统的重要组成部分-无限共轭距显微物镜所需具备的特性及设计指标。依据薄透镜组的初级像差理论,针对飞秒激光波长推导出光学系统为校正匹兹凡场曲和二级光谱...
关键词：光学设计 显微物镜 平场 飞秒激光 微纳加工 
大口径硫系玻璃内部缺陷检测物镜设计及实验验证被引量：4
《红外与激光工程》2016年第7期172-178,共7页姜波 吴越豪 戴世勋 聂秋华 张勤远 木锐 
国家科技部重大国际合作项目(2011DFA12040);浙江省自然科学基金(LQ15F050002);发光材料与器件国家重点实验室开放基金(2014-skllmd-01);浙江省重中之重学科开放基金(XKXL1320;XKL141039);宁波市自然科学基金(2014A610125)
大口径硫系玻璃在军事及民用高分辨率红外夜视成像领域有着重要的应用价值。现阶段缺少针对大口径硫系玻璃内部缺陷(包括条纹、杂质和裂纹等)进行量化评价的检测技术,因此硫系玻璃的品质控制成为了限制其大范围发展的瓶颈之一。针对课...
关键词：大口径硫系玻璃 光学设计 内部缺陷 近红外成像 
三分离式消热差制冷型中红外物镜的设计被引量：5
《红外与激光工程》2016年第4期195-200,共6页张营 丁学专 杨波 张宗存 刘银年 
国家863计划(2014AA123202)
为了满足多种复杂环境的使用需求,红外光学系统需要适应较大的工作温度范围。介绍了一种三分离式消色差消热差制冷型中红外物镜的设计方法。改进了三分离式结构物镜的孔径光阑位置,使物镜实现100%冷光阑效率,同时将这种结构与消热差模...
关键词：光学设计 消热差 三分离式结构 
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