刘丽辉

作品数：5被引量：7H指数：1
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供职机构：北京理工大学更多>>
发文主题：光刻物镜光刻机波像差投影物镜平面反射镜更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《光学学报》《红外与激光工程》《光学技术》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部重点实验室开放基金更多>>
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波片快轴角对空间调制偏振测量精度的影响
《光学学报》2024年第16期163-170,共8页张新新 宁天磊 刘丽辉 李艳秋 
国家自然科学基金重大科学仪器设备开发专项(11627808)。
空间调制偏振仪中光子空间分布特征与偏振信息的映射关系对检测的准确性有直接影响,而该映射关系由光学元件的Mueller矩阵决定。系统分析了波片快轴角度对空间调制偏振测量精度的影响,采取仪器矩阵条件数优化的方法确定最佳波片快轴角度...
关键词：测量 空间调制 弱光场 Stokes矢量 波片快轴角 偏振检测 
近红外大数值孔径平场显微物镜设计被引量：6
《红外与激光工程》2017年第7期180-186,共7页周恩源 刘丽辉 刘岩 曹振 
国家自然科学基金(61435005)
为满足飞秒激光微纳加工系统对高加工精度和大加工范围的需求,首先确定了该系统的重要组成部分-无限共轭距显微物镜所需具备的特性及设计指标。依据薄透镜组的初级像差理论,针对飞秒激光波长推导出光学系统为校正匹兹凡场曲和二级光谱...
关键词：光学设计 显微物镜 平场 飞秒激光 微纳加工 
组合倍率极紫外光刻物镜梯度膜设计被引量：1
《光学学报》2017年第8期280-287,共8页沈诗欢 李艳秋 姜家华 刘岩 刘克 刘丽辉 
国家科技重大专项;国家自然科学基金面上项目(61675026);国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(11627808)
10nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展,物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大,传统规整膜和横向梯度膜难以满足该类物镜系统反射率及像质要求。为此,提出了横纵梯度膜组合法,用横向...
关键词：光学设计 多层膜 反射系统 极紫外光刻 
90nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析
《光电工程》2015年第3期71-76,共6页张芸 刘丽辉 李艳秋 刘岩 
国家科技重大专项(2009ZX02201-003);国家自然基金重点项目(60938003);光电成像技术与系统教育部重点实验室开放课题(2013OEIOF05)
本文基于数值孔径为0.75,满足90 nm技术节点的DUV光刻物镜系统,采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系,分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响并与补偿前系统进行对...
关键词：深紫外 投影物镜 波像差 重力变形 有限元法 
模拟光刻中双层衰减相移接触孔衍射的理论公式
《光学技术》2013年第5期413-418,共6页杨亮 李艳秋 刘克 刘丽辉 
国家自然基金重点项目;国家中长期科技重大专项(F050809/60938003)
为了仿真光刻中接触孔掩模的衍射,建立了严格的三维(3D)掩模模型。采用法向矢量法(NV)改善了接触孔掩模耦合波方程的收敛性。利用S矩阵求解线性方程组避免了数值不稳定问题。对于双吸收层衰减相移接触孔掩模,当有效的截断级次达到1225...
关键词：物理光学 光刻 法向矢量 散射矩阵 严格耦合波法 接触孔 
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