物理气相沉积

作品数：692被引量：2093H指数：20
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海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层的研究进展
《中国表面工程》2024年第6期1-20,共20页郭鹏 陈仁德 李昊 杨葳 西村一仁 柯培玲 汪爱英 
国家重点研发计划(2022YFB3706205);国家自然科学基金杰出青年基金(52025014);宁波市重点研发计划(2023Z009,2023Z021)。
先进表面涂层防护技术是海工装备关键金属运动系统磨损与腐蚀防护、保障海工装备高性能长寿命可靠服役的关键途径。其中,物理气相沉积(PVD)抗磨蚀防护涂层材料兼具耐老化、耐磨性、耐腐蚀等优势,特别是可满足深海或远海机械系统相关精...
关键词：海洋环境 物理气相沉积(PVD)涂层 磨蚀性能 评价方法 典型应用 
大气物理气相沉积行为对层流等离子喷涂Mo涂层结构影响
《中国表面工程》2023年第6期108-116,共9页张惠宇 刘森辉 邓世杰 李长久 李成新 
国家自然科学基金(91860114);国家重点研发计划(2021YFB4001400)资助项目。
通过提高基体温度或粒子温度可以突破大气等离子喷涂涂层结合率一般不超过1/3的瓶颈,然而目前粒子温度难以通过提高功率等方式进一步提高。基于大气层流等离子喷涂的相关研究证明了层流等离子射流具有射流长度长、速度低、能量密度高等...
关键词：等离子喷涂 物理气相沉积 沉积机理 涂层结构 
高离化磁控溅射技术与应用专辑序言
《中国表面工程》2022年第5期I0001-I0001,共1页吴忠振 
材料的应用取决于性能,性能来源于成分与结构,而结构受控于其制备技术与工艺过程,故开展新型材料制备技术与应用研究一直在新材料研发的重要组成部分!高离化磁控溅射技术作为最新的物理气相沉积手段,可以产生类似弧光放电的高等离子体...
关键词：物理气相沉积 弧光放电 等离子体诊断 材料制备技术 装饰涂层 硬质涂层 电源设备 高功率脉冲磁控溅射 
等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展被引量：2
《中国表面工程》2022年第1期10-24,共15页黄璐 刘梅军 杨冠军 
广东省重点领域研发计划(2019B010936001);中国博士后科学基金(2019M653602)资助项目。
等离子-物理气相沉积(PS-PVD)具有制备层柱等多结构可控涂层的优异特性,但针对PS-PVD涂层结构调控的研究多局限于试错性试验,缺乏对涂层沉积与调控理论的研究,因此亟需对现有研究结果进行归纳、总结,以对PS-PVD沉积原理与涂层结构调控...
关键词：等离子-物理气相沉积(PS-PVD) 输运行为 沉积机理 结构调控 
α-(Al,Cr,Fe)_(2)O_(3)相稳定性和力学性能的第一性原理计算被引量：1
《中国表面工程》2021年第2期122-130,共9页刘浩 施杰 张泽 鲜广 赵海波 杜昊 
国家自然科学基金(51805102);贵州省科学技术基金(黔科合基础[2020]1Y228);贵州省教育厅青年科技人才成长(黔教合KY字[2017]108)资助项目
采用第一性原理分别对α-Al_(2)O_(3)、α-(Al_(0.75)Cr_(0.25))_(2)O_(3)、α-(Al_(0.75-x)Cr_(0.25)Fe_(x))_(2)O_(3)和α-(Al_(0.75)Cr_(0.25-x)Fe_(x))_(2)O_(3)相晶胞体积、结合能、态密度和力学性能的变化进行计算。研究表明:α-(...
关键词：物理气相沉积 第一性原理 α-(Al_(0.75)Cr_(0.25))_(2)O_(3) 相稳定性 力学性能 
PS-PVD等离子射流特性的光谱诊断研究进展被引量：5
《中国表面工程》2019年第5期55-68,共14页张岩 邓畅光 毛杰 邓子谦 罗志伟 
国家自然科学基金(51771059);广东省科技计划项目(2014B070705007,2017A070701027,2017B030314122);广东省科学院项目(2019GDASYL-0104022,2017GDASCX-0111)~~
等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)作为一种新型喷涂技术融合了气相沉积与喷涂工艺两者的优点,其射流特性决定了涂层的结构与性能。光学发射光谱法(OES)作为一种等离子射流特性诊断技术,能实现射流特性原位检测,是判断射流内气化现象的...
关键词：等离子喷涂-物理气相沉积 等离子射流特性 光学发射光谱 热障涂层 局部热力学平衡 
等离子喷涂-物理气相沉积高温防护涂层研究进展被引量：18
《中国表面工程》2018年第5期39-53,共15页张啸 刘敏 张小锋 毛杰 邓春明 李润霞 周克崧 
国家重点研发计划(2017YFB0306100);广东省科学院项目(2018GDASCX-0402);广东省自然科学基金(2016A030312015)~~
等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)是基于低压等离子喷涂发展起来的一种新型多功能薄膜及涂层制备技术。由于其独特的等离子射流特征,可实现气液固多相涂层沉积,获得非视线沉积。文中首先介绍了国内外PS-PVD技术等离子体数值模拟和在线...
关键词：等离子喷涂-物理气相沉积 等离子射流模拟 热障涂层 非视线沉积 环境障涂层 
等离子喷涂-物理气相沉积射流中粒子状态和分布被引量：12
《中国表面工程》2017年第3期81-88,共8页邓子谦 刘敏 毛杰 邓春明 马景涛 陈志坤 
广东省自然科学基金(2016A030312015);广东省(广州市)科学技术合作项目(2013B050800027;201508030001)~~
采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)在高温合金基体上沉积7YSZ热障涂层,通过分步沉积实验、径向和轴向的涂层结构分布实验探讨了涂层中各种粒子的种类、形成原因、对涂层结构的影响及射流中的粒子分布。研究表明:PS-PVD实际上是一种...
关键词：等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD) 涂层生长 空间分布 熔滴/固态颗粒 
太阳能高反射薄膜制备技术对薄膜性能的影响被引量：2
《中国表面工程》2016年第3期34-40,共7页李海兵 徐勇军 蔡其文 涂伟萍 廖俊旭 
广东省教育部产学研结合项目(2012B091100296);广东省高等学校科技创新重点项目(cxzd1148)
采用磁过滤阴极真空弧沉积（FCVAD）与磁控溅射（MS）两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表...
关键词：光学薄膜 物理气相沉积 磁过滤阴极真空弧沉积 磁控溅射 高反射膜 
燃气热冲击对PS-PVD和APS热障涂层的微结构和隔热性能的影响被引量：4
《中国表面工程》2016年第3期57-64,共8页张永 刘敏 张吉阜 许晓嫦 宋进兵 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2012CB625105);广东省自然科学基金研究团队项目(2016A030312015)
采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)和大气等离子喷涂(APS)技术分别制备柱状和层状YSZ陶瓷层,在1 250℃的燃气热冲击下对比研究两种涂层体系的微结构演变和隔热性能变化。结果显示,燃气热冲击后PS-PVD和APS制备的两种YSZ层主要由t'相...
关键词：等离子喷涂-物理气相沉积 热障涂层 燃气热冲击 失效分析 
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