谐振梁

作品数：37被引量：71H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
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相关机构：北京航空航天大学西安交通大学东南大学中国科学院电子学研究所更多>>
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热激励硅基双梁谐振型压力传感器
《微电子学》2010年第6期890-892,共3页梅勇 张正元 李健根 李小刚 冯志成 
国家高技术研究发展(863)计划基金资助项目(2008AA04Z302)
针对热激励硅基谐振型压力传感器温度漂移严重的问题,提出了一种双梁硅基谐振型压力传感器结构,利用不测试压力的谐振梁感应温度对谐振梁的变化,并与测试压力的谐振梁相减,消除测试压力的谐振梁随温度变化的部分,补偿热激励硅基谐振型...
关键词：压力传感器 谐振梁 硅/硅键合 三维体加工 
MEMS传感器的真空密封技术被引量：1
《微电子学》2005年第3期268-269,274,共3页曾大富 刘建华 罗驰 
国家高技术研究发展(863)计划"MEMS重大专项B类项目"资助(2003AA40402)
文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想。
关键词：MEMS 传感器 谐振梁 压力传感器 真空密封 
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