离子束增强沉积

作品数:103被引量:247H指数:8
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相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者:袁宁一柳襄怀李金华刘道新唐宾更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院上海冶金研究所西北工业大学江苏工业学院更多>>
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相关基金:国家自然科学基金中国航空科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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  • 作者=何家文x
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钛合金表面离子束增强沉积膜层的环境适应性和接触相容性被引量:2
《稀有金属材料与工程》2005年第7期1009-1012,共4页刘道新 唐宾 何家文 
国家自然科学基金资助(50171054);航空科学基金资助(01H53066);陕西省自然科学研究计划资助(2000C01)
利用离子束增强沉积技术在钛合金表面制备CrN硬质抗磨层和CuNiIn固体润滑膜层。通过电化学测试技术对比研究了膜层和钛合金基材在含Cl-介质中的抗蚀性能和接触腐蚀敏感性,利用高温静态氧化方法评价了膜层的抗氧化性能。结果表明:(1)CuN...
关键词:钛合金 离子束增强沉积 硬质膜层 固体润滑膜层 腐蚀 
钛合金表面离子束增强沉积MoS_2基膜层及其性能被引量:16
《中国有色金属学报》2001年第3期454-460,共7页刘道新 唐宾 陈华 何家文 
国家自然科学基金资助项目 ( 5 99710 3 5 );航空科学基金资助项目 ( 98H5 3 0 86);陕西省自然科学研究计划资助项目 ( 2 0 0 0C0 1)
将离子束增强沉积 (IBED)技术与离子束溅射沉积技术相结合 ,在钛合金表面制备了MoS2 ,MoS2 Ti复合膜。研究了膜层的形态、结构、膜基结合强度、硬度、摩擦学性能及抗微动 (fretting)损伤性能。结果表明 :所获膜层较纯溅射膜结合强度高...
关键词:钛合金 离子束增强沉积 MoS2复合膜 磨擦磨损 微动疲劳 喷丸强化 
离子束增强沉积CrN镀层膜基结合强度的测定
《中国机械工程》2000年第4期369-372,共4页唐宾 胡奈赛 何家文 
国家自然科学基金资助项目! ( 5 96710 64 )
采用球滚接触疲劳法评定不同界面共混工艺所制 Cr N镀层膜基结合强度 ,并对试验结果进行分析对比。试验结果表明 ,在其它参数相同的条件下 ,随着氮离子轰击能量从 1 0 ke V、2 0 ke V提高到 40 ke V,静反冲共混界面结合强度相应增大 ,...
关键词:粒子束增强沉积 氮化铬 镀层 结合强度 测定 
离子束增强沉积制备CrN_x薄膜被引量:7
《中国有色金属学报》1999年第1期69-70,共2页唐宾 朱晓东 胡奈赛 何家文 
国家自然科学基金
利用离子束增强沉积(IBED)技术制备了CrNx薄膜。对不同能量氮离子轰击所制备的薄膜进行了X射线衍射、X射线光电子能谱分析、膜层断裂韧性以及摩擦学性能研究。试验结果表明,在相同试验条件下,氮离子轰击能量影响CrNx...
关键词:离子束增强沉积 薄膜 氮化铬 
TC4钛合金在慢速率形变下的银脆行为被引量:2
《稀有金属》1998年第3期195-199,共5页刘道新 严百平 唐宾 黄淑菊 何家文 
航空基金
利用慢应变速率拉伸试验(SSRT)并结合断口分析,研究了镀银方式、镍阻挡层、表面压应力和温度等因素对TC4钛合金固态银致脆(SSIE)行为的影响,并对SSIE机制进行了理论分析。结果表明,在28×10-6·s-1慢...
关键词:银脆 氢脆 离子束增强沉积 钛合金 
离子束增强沉积技术在制备优良抗蚀膜层方面的研究进展被引量:1
《表面技术》1997年第1期1-5,共5页傅永庆 徐可为 何家文 
介绍了一种新型表面改性技术——离子束增强沉积技术的原理、方法,综述了该技术在制备优良抗蚀膜层方面的优势及最新研究进展。
关键词:离子束增强沉积 抗蚀性 镀膜 表面改性 金属 
离子束增强沉积技术制备MoS_2固体润滑膜被引量:1
《材料科学与工程》1996年第1期13-16,共4页朱晓东 傅永庆 何家文 
国家自然科学基金;中关村联合分析测试基金资助
本文综述了离子束增强沉积技术的主要特点及其在制备固体润滑膜(MoS_2)方面的最新研究结果。与传统溅射沉积技术比较,其优势在于:易于获得沿 basal 面的择优取向分布,膜层结构致密,膜基结合强度高,膜层耐磨损寿命大幅度提高。
关键词:离子束增强沉积 润滑膜 二氧化钼 
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