陈华

作品数：25被引量：170H指数：7
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：等离子喷涂防御锅炉管热腐蚀扩散阻挡层更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术动力工程及工程热物理电子电信更多>>
发文期刊：《材料热处理学报》《流体机械》《西安交通大学学报》《摩擦学学报（中英文）》更多>>
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基体对硅钼薄膜结构及电学性能的影响被引量：2
《稀有金属材料与工程》2006年第3期408-411,共4页信绍广 徐可为 陈华 张茂国 
采用射频磁控溅射法在硅基底上制备了硅钼薄膜,并研究了不同基体对薄膜相结构、表面形貌及电学性能的影响。XRD,AFM和SEM分析结果表明,硅和石英玻璃基体上沉积的硅钼薄膜为非晶,而氧化铝基体上沉积的硅钼薄膜为多晶。四探针电阻测试结...
关键词：基体 磁控溅射 MoSi2薄膜 方阻 
一种新型喷射制冷循环的理论分析被引量：18
《西安交通大学学报》2005年第11期1215-1218,1240,共5页陈华 鱼剑琳 任云锋 厉彦忠 
提出了一种新型喷射制冷循环.该循环系统是在常规喷射制冷循环的喷射器和冷凝器之间增加了一个液体-气体射流泵,通过该射流泵可以降低喷射器的背压,提高喷射器的喷射系数,进而改善循环性能.针对此循环进行了理论分析和模拟计算,并与相...
关键词：喷射制冷 喷射器 射流泵 
磁控溅射法制备硅钼薄膜及其性能表征被引量：3
《稀有金属材料与工程》2005年第7期1158-1161,共4页张茂国 陈华 
用射频磁控溅射法在硅基底上成功制备出具有低电阻率的单一四方相二硅化钼薄膜,并通过X射线衍射仪、原子力显微镜及四探针电阻测试仪对退火前后的薄膜样品进行了结构和电学性能分析。结果表明:薄膜的电学特性强烈依赖于薄膜的微结构和...
关键词：磁控溅射 二硅化钼 薄膜 电阻率 
Zr-Si-N 扩散阻挡层及其热稳定性的研究被引量：7
《稀有金属材料与工程》2005年第3期459-462,共4页宋忠孝 丁黎 徐可为 陈华 
国家自然科学基金重点项目 (59931010);教育部骨干教师计划项目资助
用反应磁控溅射法在不同偏压下沉积了Zr-Si-N 扩散阻挡层,结果表明:Zr-Si-N 膜的Si 含量、电阻率随偏压的升高而降低;Zr-Si-N 膜的晶体相随溅射偏压的升高而增加;Zr-Si-N 扩散阻挡层的热稳定性高,在850oC 时仍能有效阻挡Cu 的扩散。
关键词：Zr-Si-N 扩散阻挡层 热稳定性 
IBAD界面反应及其对结合强度的影响被引量：4
《稀有金属材料与工程》2005年第1期77-81,共5页田林海 陈坚 唐宾 何家文 陈华 
国家自然科学基金(59971035)和(50371060)资助
研究了不同能量界面动态共混过程中的界面反应及其对沉积在GCr15和45#钢基体的IBADCrN薄膜结合强度的影响。用AFM和GDOES分析了不同能量共混界面的形貌和成分。用循环滚动接触法使薄膜在膜基最薄弱处产生剥落,用以分析界面反应产物,同...
关键词：动态离子共混 界面反应 碳富集 结合强度 
磁控溅射偏压对Zr-Si-N扩散阻挡层组织结构的影响被引量：1
《中国有色金属学报》2004年第3期441-444,共4页宋忠孝 徐可为 陈华 
国家自然科学基金重点资助项目(59931010);教育部骨干教师计划项目资助
用反应磁控溅射法在不同偏压下沉积了Zr Si N扩散阻挡层。结果表明:Zr Si N膜的成分、电阻率和结构均随偏压的改变而不同;随着溅射偏压的增加,Zr Si N膜的表面粗糙度值增大;Zr/Si比值也随着偏压的增加而增大;电阻率随偏压的增加显著降低...
关键词：Zr-Si-N 扩散阻挡层 组织结构 磁控溅射 偏压 集成电路 
退火气氛与扩散阻挡层对Cu膜表面完整性的影响被引量：2
《真空科学与技术》2003年第3期165-168,共4页宋忠孝 徐可为 陈华 
国家自然科学基金重点项目 (No 5 993 10 10 );教育部骨干教师计划项目
用反应磁控溅射和离子束辅助沉积 (IBAD)方法分别在 ( 111)单晶硅基体上沉积了Cu/ZrSiN与Cu/ZrN膜系 ,制得的试样在 80 0℃下分别在真空和N2 、H2 混合气体两种气氛中退火 1h ,结果表明 ,在真空中退火的Cu/ZrSiN膜由于ZrSiN膜裂纹导致C...
关键词：ZrSiN ZRN 扩散阻挡层 CU膜 表面完整性 
对几种薄膜硬度测试方法的评定被引量：11
《中国表面工程》2002年第3期20-23,共4页米彦郁 胡奈赛 何家文 陈华 
国家自然科学基金资助项目(59971035)
用传统的显微硬度计直接测量薄膜硬度难以避免基体的影响且小载荷压入时产生的较小的压痕不易被准确测量。纳米压入仪是一种可以精确控制及测量压入深度的高精度仪器。这种通过测压入深度测硬度值的技术可以减少基体硬度对薄膜测量硬度...
关键词：薄膜 复合硬度 显微硬度 纳米压入仪 硬度试验 
离子束辅助磁控溅射沉积TiN薄膜的研究被引量：36
《稀有金属材料与工程》2002年第3期205-208,共4页黄鹤 王学刚 朱晓东 陈华 何家文 
国家自然科学基金资助项目 (5 99710 3 5 )
利用三离子束辅助沉积设备 ,以离子束辅助沉积、磁控溅射和离子束辅助磁控溅射几种工艺在GCr15基体上沉积TiN薄膜。实验结果表明 :离子束辅助磁控溅射有效地提高了薄膜的硬度、耐磨性和耐蚀性 ,改善了膜基结合力。
关键词：离子束辅助磁控溅射沉积 结合强度 磨损 氮化钛薄膜 
非晶含氢碳薄膜摩擦与抗擦伤性能的实验研究被引量：4
《摩擦学学报》2001年第4期241-245,共5页黄立业 徐可为 吕坚 陈华 杨生荣 刘维民 
国家自然科学基金重点项目资助 ( 5 99310 10 ) ;中法先进研究计划项目资助 ( PRA MX99-0 6 ) ;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室资助 ( 2 0 0 0 )
用射频等离子体增强化学气相沉积法在钛合金表面制备了非晶含氢碳 (a- C∶ H)薄膜 ,利用原子力显微镜、纳米力学探针、划痕仪以及滑动摩擦和微动摩擦试验仪器等研究了其表面形貌、粗糙度、硬度和摩擦性能 ,分析了薄膜的表面粗糙度、硬...
关键词：非晶含氢碳膜 摩擦磨损性能 抗擦伤性能 
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