镀膜工艺

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PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施
《电子世界》2021年第15期150-151,共2页施秉旭 
2019年度德州市市级研发计划项目(951-PECVD制备氮化硅薄膜工艺研究);山东省教育科学“十三五”规划2020年度课题项目(2020QZC007)。
在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。氮化硅薄膜具备较好的阻隔钠离子、掩蔽...
关键词：晶体硅太阳能电池 太阳能电池片 太阳能发电 光电转化 氮化硅薄膜 机械精度 镀膜工艺 钠离子 
LTPS TP精益化管控研究
《电子世界》2021年第10期87-90,共4页苏海东 王成龙 姚磊 闫雷 李峰 李凯 高云 
低温多晶硅工艺作为薄膜晶体管显示器的主流工艺被各大面板厂商所采用。但是复杂的工艺制程导致基板形变较大,这就导致出现相应的光学类的不良,如串色,漏光,透过率低等。为了实现阵列基板和彩膜基板的高精度对位,本文研究了影响阵列基...
关键词：薄膜晶体管 低温多晶硅 LTPS 常规做法 镀膜工艺 均一性 透过率 跟踪测试 
显示面板工艺中氮化硅薄膜应力的控制和影响
《电子世界》2020年第23期86-88,92,共4页苏海东 闫雷 谢建云 方业周 李峰 
在显示面板工艺中,高质量的氮化硅薄膜扮演重要角色,本文研究了利用等离子增强型化学气相沉积制备的氮化硅薄膜应力情况。通过改变沉积工艺条件,如射频功率,腔室压强,沉积温度,基于曲率变化法利用Stony公式测得不同条件下的应力值并绘...
关键词：氮化硅薄膜 玻璃基板 显示面板 沉积工艺 镀膜工艺 薄膜应力 龟裂 射频功率 
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