六甲基二硅氮烷

作品数：69被引量：145H指数：7
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六甲基二硅氮烷电子级精馏纯化仿真模拟
《有机硅材料》2025年第2期17-24,32,共9页刘周恩 崔艳红 田啸宇 
为满足电子信息产业对电子级六甲基二硅氮烷(HMDS)的高纯度(≥4N)要求,必须有效脱除其中的六甲基二硅氧烷(MM)和三甲基硅醇(TMSO)等杂质。本文提出利用精馏纯化技术来获取高纯度HMDS,并利用仿真模拟研究了HMDS分别与MM和TMSO组成的二元...
关键词：六甲基二硅氮烷 电子级 纯化 精馏 仿真模拟 
光刻增粘工艺中多因素对氨含量影响的研究
《今日自动化》2024年第12期41-42,53,共3页姜倍鸿 王浩然 王颢然 秦伟凡 邢栗 
文章对增粘过程中多因素对氨含量的影响趋势和作用机制进行了分析,得出了多种不同因素与氨含量的对应关系,并通过试验得出了增粘过氨含量随影响因素的变化规律,为增粘过程的优化、光刻及显影过程的环境要求及缺陷控制提供了指导作用。
关键词：六甲基二硅氮烷 增粘工艺 氨及氨的衍生物 光刻 
博苑股份:内控管理现疏漏 数据披露生矛盾
《股市动态分析》2024年第22期50-51,共2页林然 
山东博苑医药化学股份有限公司(以下简称“博苑股份”)从事精细化学品的研发、生产、及销售。主营产品包括有机碘化物、无机碘化物、贵金属催化剂、发光材料、六甲基二硅氮烷等,同时基于资源综合利用资质与工艺技术优势,开展含碘、贵金...
关键词：加工服务 内控管理 六甲基二硅氮烷 贵金属催化剂 医药化学 资源综合利用 精细化学品 发光材料 
气相色谱串联质谱法测定磷酸特地唑胺中的六甲基二硅氮烷
《山东化工》2024年第22期158-161,共4页刘晓敏 王玉如 卢忠秋 兰公剑 
目的:建立气相色谱串联质谱法(GC-MS)测定磷酸特地唑胺中六甲基二硅氮烷。方法:采用水解的方法对磷酸特地唑胺中的六甲基二硅氮烷进行研究,将六甲基二硅氮烷与水反应后,通过检测水解产物三甲基硅醇间接得出六甲基二硅氮烷的含量,使用VF-...
关键词：六甲基二硅氮烷 三甲基硅醇 水解反应 磷酸特地唑胺 气相色谱串联质谱 
光刻工艺中增粘剂的失效分析被引量：1
《信息记录材料》2024年第8期43-45,共3页孙洪君 吕强 韩洋 王浩然 
六甲基二硅氮烷(hexamethyldisilazane,HMDS)是常用于集成电路光刻工艺中硅衬底晶圆增粘处理的化学试剂。在高温下,HMDS与衬底表面氧化层键合,将硅衬底表面从亲水变为疏水,使衬底表面可以很好地与光刻胶结合。本文对涂覆HMDS的晶圆进行...
关键词：六甲基二硅氮烷 表面增粘 失效分析 接触角 疏水性 持久性 
东岳硅材申请硅氧烷合成新工艺专利
《化工时刊》2024年第1期77-77,共1页
据国家知识产权局公告,山东东岳有机硅材料股份有限公司申请一项名为“1,1,1,3,5,5,5-七甲基三硅氧烷的合成工艺”,公开号CN117466932A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本发明属于硅氧烷合成技术领域,具体涉及1,1,1,3,5,5,5-七甲...
关键词：六甲基二硅氧烷 七甲基三硅氧烷 六甲基二硅氮烷 甲基氢二氯硅烷 有机硅材料 国家知识产权局 反应釜 有机胺 
管式反应器内三甲基氯硅烷连续氨化制备六甲基二硅氮烷研究被引量：1
《化学反应工程与工艺》2023年第1期36-44,共9页孟闻飞 朱明乔 何潮洪 罗晓琳 王康 
浙江大学衢州研究院科技计划项目(IZQ2019-KJ-004)。
针对三甲基氯硅烷半连续氨化反应生产效率低下,反应装置容积效率低的问题,设计并制作了三甲基氯硅烷连续氨化生产六甲基二硅氮烷的管式反应装置,探究了液相进料流量和浓度、气液比、循环流量等操作参数对反应装置运行效果的影响。结果表...
关键词：六甲基二硅氮烷 氯化铵 三甲基氯硅烷 管式反应器 
六甲基二硅氮烷镁催化丙交酯的开环聚合反应
《合成材料老化与应用》2023年第1期32-34,54,共4页周先悦 孙洪广 
聚丙交酯(PLA)作为一种可降解材料,其应用广泛。目前主要方法是通过丙交酯开环聚合来合成PLA。如何高效合成PLA的关键在于设计出一种高效的催化体系。该文设计出一种结构简单的六甲基二硅氮烷镁(Mg(HMDS)2)催化剂,可用于丙交酯的开环聚...
关键词：聚丙交酯 Mg(HMDS)2 开环聚合 
六甲基二硅氮烷对二氧化硅气凝胶结构和性能的影响被引量：4
《中国建材科技》2023年第1期79-84,共6页张忠伦 温立玉 王明铭 侯建业 
枣庄市自主创新及成果转化计划项目“耐高温气凝胶保温材料中试制备技术研发与示范”(2020GH20)。
以TEOS-40为硅源,通过酸碱两步法,以六甲基二硅氮烷为改性剂,经CO_(2)超临界干燥制备具有疏水性质的SiO_(2)气凝胶,对其进行比表面积和孔径、微观形貌、光学角、导热、傅里叶红外及热重分析,研究改性剂添加量(0、0.05、0.1、0.2、0.4mol...
关键词：六甲基二硅氮烷 改性 二氧化硅气凝胶 超临界干燥 
关于关山櫻花等32种“三新食品”的公告(2022年第1号)
《中国卫生法制》2022年第3期53-53,共1页无 
根据《中华人民共和国食品安全法》规定,审评机构组织专家对关山櫻花等2种新食品原料、磷脂酶A1等11种食品添加剂新品种、以六甲基二硅氧烷和六甲基二硅氮烷为原料的氧化硅涂层等19种食品相关产品新品种的安全性评估材料进行审查并通过...
关键词：新食品原料 食品添加剂 磷脂酶A1 安全性评估 六甲基二硅氮烷 六甲基二硅氧烷 特此公告 食品相关产品 
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