脉冲偏压

作品数：113被引量：371H指数：10
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：林国强董闯闻立时黄美东赵彦辉更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院金属研究所哈尔滨工业大学东华大学更多>>
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PMMA表面高功率脉冲磁控溅射制备ITO涂层被引量：1
《稀有金属材料与工程》2020年第7期2229-2233,共5页冯军 李必文 陈文波 陈美艳 金凡亚 但敏 
National Magnetic Confinement Fusion Energy Development Research Project(2018YFE0313100);Nanhua University Doctoral Initial Funding(2016XQD29)。
采用高功率脉冲磁控溅射技术在PMMA基体上制备了ITO涂层。利用XRD、SEM对涂层进行了相结构的分析,并进行了划痕实验、光电性能测试。结果表明:偏压、氢氩流量比等工艺参数对涂层的相结构、膜基结合力、光电性能均有影响。增大偏压,膜基...
关键词：ITO涂层 高功率脉冲磁控溅射 PMMA 脉冲偏压 氢氩流量比 
基体脉冲偏压对TiN/Cu纳米复合薄膜组织结构、力学及耐磨性能的影响（英文）被引量：3
《稀有金属材料与工程》2018年第11期3284-3288,共5页赵彦辉 赵升升 任玲 V.V.Denisov N.N.Koval 杨柯 于宝海 
National Natural Science Foundation of China(51401128)
采用轴向磁场增强电弧离子镀在高速钢基体上沉积了Ti N/Cu纳米复合薄膜,研究了基体脉冲偏压幅值对薄膜成分、结构、力学性能及耐磨性能的影响。结果表明,薄膜中铜含量随着脉冲偏压幅值的增加先增加而后降低,在一个较低的范围内(1.3 at%...
关键词：电弧离子镀 磁场:脉冲偏压 显微结构 力学性能 
脉冲偏压占空比对电弧离子镀TiAlN涂层的影响被引量：9
《稀有金属材料与工程》2018年第11期3482-3486,共5页付志强 苗志玲 岳文 王成彪 康嘉杰 朱丽娜 彭志坚 
国家自然科学基金(51275494);中央高校基本科研业务费专项资金(2652015084)
通过优化电弧离子镀工艺参数改善TiAlN涂层结构及性能对TiAlN涂层应用具有重要的实用价值。本研究利用脉冲偏压电弧离子镀制备了TiAlN涂层,研究了偏压占空比对TiAlN涂层结构及性能的影响,结果发现:随着占空比增加,涂层表面缺陷密度和表...
关键词：电弧离子镀 脉冲偏压 占空比 TIALN涂层 
脉冲偏压电弧离子镀Zr-Me-N(Me=Cr,Al,Cu)薄膜性能研究(英文)
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期83-86,共4页张林 林国强 马国佳 魏科科 段仲伟 
National Nature Science Foundation of China(50824001)
利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N(Me=Al,Cr,Cu)。采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能。研究表明:Zr-Cr-...
关键词：电弧离子镀 三元氮化物 力学性能 摩擦系数 
铜含量对脉冲偏压电弧离子镀Zr-Cu-N薄膜结构与性能的影响(英文)
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期87-90,共4页张林 林国强 马国佳 魏科科 
National Nature Science Foundation of China(50824001)
利用脉冲偏压电弧离子镀设备调控分离靶弧流,在高速钢和Si基体上沉积了不同铜含量的Zr-Cu-N薄膜。采用EPMA、XRD、纳米压痕以及摩擦磨损试验机研究铜含量对薄膜的组分、结构、力学性能和摩擦学性能。研究表明:Zr-Cu-N薄膜结构主要依赖...
关键词：Zr-Cu-N薄膜 结构 力学性能 电弧离子镀 
脉冲偏压对电弧离子镀非晶氧化钛薄膜性能的影响被引量：4
《稀有金属材料与工程》2007年第11期1909-1914,共6页张敏 林国强 董闯 闻立时 
国家自然科学基金资助项目(50390060)
用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上制备均匀透明的氧化钛薄膜，通过改变脉冲偏压幅值，考察其对氧化钛薄膜性能的影响。结果表明，沉积态薄膜为非晶态；脉冲偏压对薄膜性能有明显的影响。随偏压的增加，薄膜厚度、硬度和弹性模量均...
关键词：非晶氧化钛薄膜 脉冲偏压 电弧离子镀 性能 
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