脉冲偏压

作品数:113被引量:371H指数:10
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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:林国强董闯闻立时黄美东赵彦辉更多>>
相关机构:大连理工大学中国科学院金属研究所哈尔滨工业大学东华大学更多>>
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脉冲偏压占空比对电弧离子镀AlCrSiN涂层结构和性能的影响被引量:1
《天津职业技术师范大学学报》2024年第1期1-7,共7页白乌力吉 刘艳梅 张蕊 王重阳 许梦娇 尹霜 王铁钢 
天津市多元投入基金重点项目(22JCZDJC00670);天津市教委科研计划重点项目(2022ZD020).
为优化电弧离子镀AlCrSiN涂层的制备工艺,获得最佳的脉冲偏压占空比,采用全自动脉冲电弧离子镀技术,在不同脉冲偏压占空比下分别制备AlCrSiN涂层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、划痕仪、球-盘式摩擦磨损试验机等对涂层物...
关键词:全自动电弧离子镀 AlCrSiN涂层 脉冲偏压占空比 微观结构 力学性能 摩擦性能 
脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律被引量:1
《中国表面工程》2023年第6期57-67,共11页魏永强 顾艳阳 范梦圆 杨佳乐 张华森 张晓晓 钟素娟 廖志谦 
国家自然科学基金(51401182);中国国家留学基金(CSC202108410274);河南省科技攻关计划(222102220066);河南省高层次人才国际化培养和郑州航空工业管理学院科研团队(23ZHTD01010)资助项目。
随着先进制造领域对高速钢材料切削性能和加工性能的要求越来越高,迫切需要利用氮化物薄膜来提高基体材料的硬度和耐磨性等综合性能,延长高速钢材料的使用寿命。通过TiCrN薄膜提升高速钢材料的使役性能,研究脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜...
关键词:电弧离子镀 脉冲偏压占空比 TiCrN薄膜 纳米硬度 耐蚀性 摩擦因数 
偏压占空比对磁控溅射制备AlMgB薄膜的影响研究
《河北北方学院学报(自然科学版)》2023年第7期1-6,共6页王校苗 党玲岩 田野 
采用JGP-450型三靶磁控溅射系统制备超硬AlMgB薄膜。研究脉冲偏压占空比复合参数对AlMgB薄膜的沉积速率、表面形貌、微观结构及机械性能的影响。实验中,采用3D表面轮廓仪、原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪及纳米压痕技术对薄膜的厚...
关键词:磁控溅射 AlMgB薄膜 超硬 脉冲偏压-占空比 B12 
脉冲偏压占空比对TiSiN薄膜结构和性能的影响被引量:1
《金属热处理》2022年第8期279-286,共8页魏永强 顾艳阳 赵重轻 蒋志强 
国家自然科学基金(51401182);河南省科技攻关项目(222102220066);河南省教育厅自然科学重点项目(22B430030)。
采用电弧离子镀方法,通过改变脉冲偏压占空比在M2高速钢和单晶硅片基体上沉积TiSiN薄膜,研究脉冲偏压占空比对TiSiN薄膜形貌结构、元素成分、相结构、纳米硬度和耐蚀性能的影响。脉冲偏压占空比为30%时,TiSiN薄膜表面的大颗粒数目达到...
关键词:电弧离子镀 TiSiN薄膜 占空比 纳米硬度 耐蚀性 
脉冲偏压占空比对磁控溅射制备ITO薄膜光电性能的影响被引量:1
《科技智囊》2020年第8期50-53,共4页霍秋红 张翔 王昆仑 刘学男 王婉霞 孙珲 
山东省自然科学基金(No.ZR2018QEM002)。
作为应用最为广泛的ITO透明导电薄膜一直是材料和电子领域研究的热点之一。实验利用磁控溅射方法制备了不同脉冲偏压占空比的ITO薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、紫外-可见光分光光度计和霍尔效应测量仪分别...
关键词:ITO薄膜 磁控溅射 占空比 光电性能 
脉冲偏压占空比对电弧离子镀TiAlN涂层的影响被引量:9
《稀有金属材料与工程》2018年第11期3482-3486,共5页付志强 苗志玲 岳文 王成彪 康嘉杰 朱丽娜 彭志坚 
国家自然科学基金(51275494);中央高校基本科研业务费专项资金(2652015084)
通过优化电弧离子镀工艺参数改善TiAlN涂层结构及性能对TiAlN涂层应用具有重要的实用价值。本研究利用脉冲偏压电弧离子镀制备了TiAlN涂层,研究了偏压占空比对TiAlN涂层结构及性能的影响,结果发现:随着占空比增加,涂层表面缺陷密度和表...
关键词:电弧离子镀 脉冲偏压 占空比 TIALN涂层 
脉冲偏压占空比对复合离子镀(Cr,Al)N薄膜结构和力学性能的影响被引量:2
《真空》2015年第3期6-10,共5页高倩 黄美东 王小龙 薛利 
天津师范大学创新基金(52X09038)
采用将电弧离子镀与磁控溅射离子镀相结合而得的复合离子镀的方法,分别用高纯Cr作为电弧靶、用高纯Al作为溅射靶,通入氮气和氩气,在高速钢和硅片上沉积(Cr,Al)N薄膜。通过台阶仪、扫描电镜、X射线衍射仪、维氏硬度计等分析和测量手段,...
关键词:复合离子镀 CrAlN薄膜 占空比 
脉冲偏压对多弧离子镀TiAlN薄膜的成分和结构的影响研究被引量:7
《真空》2015年第1期34-38,共5页王萌萌 黄美东 潘玉鹏 李云珂 
采用多弧离子镀在高速钢基底上沉积Ti Al N薄膜。利用扫描电镜(SEM)观测薄膜的表面形貌;用EDS分析薄膜表面的成分;用表面轮廓仪测试薄膜的厚度并结合沉积时间计算出沉积速率;用维氏硬度仪测量薄膜的硬度;用XRD表征薄膜的微观结构。结果...
关键词:多弧离子镀 TI AL N薄膜 脉冲偏压 占空比 
脉冲偏压占空比和放置状态对大颗粒分布规律的影响被引量:6
《热加工工艺》2015年第4期134-137,共4页魏永强 刘建伟 文振华 蒋志强 田修波 
航空科学基金资助项目(2012ZE55011);国家自然科学基金资助项目(51401182);河南省教育厅科学技术研究重点项目(13A430397和14A140026);河南省科技厅基础与前沿技术研究计划项目(132300410241);科技攻关项目(142102210504);河南省"创新型科技团队";河南省高校科技创新团队支持计划(2012IRTSTHN014)
利用电弧离子镀方法在201不锈钢基体上制备了Ti N薄膜,研究了脉冲偏压占空比和基体放置状态对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电镜观察了Ti N薄膜的表面形貌,利用Image J图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在...
关键词:电弧离子镀 TIN 脉冲偏压 大颗粒 占空比 
脉冲偏压占空比对复合离子镀TiCN涂层结构和性能的影响被引量:10
《中国表面工程》2014年第4期100-106,共7页程芳 黄美东 王萌萌 范喜迎 李云珂 刘野 
国家自然科学基金(61078059);天津师范大学学术创新推进计划(52X09038)
采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织...
关键词:复合离子镀 脉冲偏压占空比 TiCN涂层 显微硬度 
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