纳米测量机

作品数：27被引量：123H指数：6
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相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
相关作者：胡小唐李源傅星郭彤陈津平更多>>
相关机构：天津大学上海市计量测试技术研究院合肥工业大学中航工业北京长城计量测试技术研究所更多>>
相关期刊：《上海计量测试》《工业计量》《自动化仪表》《组合机床与自动化加工技术》更多>>
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基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量被引量：3
《传感技术学报》2008年第12期2097-2100,共4页李源 邹子英 傅云霞 傅星 栗大超 胡小唐 
国家质检总局科技计划资助(D00RJ0704)“纳米测量机在半导体领域的应用”
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,...
关键词：微机电系统 微触觉测头 尺寸测量 纳米测量机 
应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化被引量：3
《传感技术学报》2006年第05A期1512-1515,共4页李源 栗大超 胡小唐 赵大博 郭彤 陈津平 
为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的...
关键词：MEMS 微接触式测头 纳米测量机 结构设计 优化 
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