云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 纳米测量技术

纳米测量技术: 作品数：23被引量：68H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：一般工业技术机械工程更多>>; 相关作者：陈本永王莹许红梅翁占坤宋正勋更多>>; 相关机构：清华大学浙江大学长春理工大学浙江理工大学更多>>; 相关期刊：《航空精密制造技术》《中国计量》《金属加工（冷加工）》《仪器仪表学报》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>

检索结果分析

选择条件：

共条记录，以下是1-1

全选清除导出

视图：

排序：

光栅干涉精密纳米测量技术被引量：2: 《光学精密工程》2024年第17期2591-2611,共21页李星辉崔璨; 广东省基础与应用基础研究基金资助项目(No.2021B1515120007);深圳市稳定支持计划项目(No.WDZC20231124201906001);国家自然科学基金资助项目(No.62275142)。; 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数...; 关键词：精密测量纳米测量光栅干涉仪多自由度误差补偿