纳米多层薄膜

作品数：20被引量：84H指数：6
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：王立平薛群基曹保胜李戈扬王浪平更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院河北大学上海交通大学更多>>
相关期刊：《上海交通大学学报》《有色金属材料与工程》《湘潭大学学报（自然科学版）》《摩擦学学报（中英文）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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湿度对a-C:Ti/a-C:Si纳米多层薄膜摩擦学行为的影响
《表面技术》2024年第21期34-43,共10页赵春梅 牛心悦 徐正田 王少峰 施志军 邢晓磊 周野飞 
国家自然科学基金(52205205、52375208);河北省自然科学基金(E2024203093、E2024203056、E2024203127、E2020203022);河北省省级科技计划资助(236Z1809G);航空科学基金(201945099002);特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室开放基金项目(CBGZJJ2023-2-04)。
目的沉积出具有纳米级多层结构的a-C:Ti/a-C:Si薄膜来改善非晶碳薄膜的湿度适应性。方法通过磁控溅射技术在硅片和304不锈钢试样表面交替沉积a-C:Ti薄膜和a-C:Si薄膜,并进行了薄膜截面形貌表征。通过纳米压痕测试表征了复合薄膜的力学性...
关键词：多层结构 a-C:Ti/a-C:Si纳米多层膜 a-C:Si层 力学性能 摩擦学性能 相对湿度 
南海海洋大气环境二硫化钼纳米多层薄膜摩擦学行为研究被引量：11
《摩擦学学报》2018年第4期417-429,共13页商克栋 郑韶先 鞠鹏飞 蒲吉斌 张广安 王立平 薛群基 
国家自然科学基金项目(U1737214;51775539)资助~~
MoS_2薄膜在湿热大气环境长期存储后,由于严重的氧化导致其摩擦学性能大幅劣化,通常表现出较高的摩擦系数和较短的使用寿命.为了改善MoS_2薄膜在湿热大气环境下的抗氧化和摩擦学性能,通过非平衡闭合场磁控溅射技术制备了MoS_2/Pb-Ti纳...
关键词：Mo S2/Pb-Ti纳米多层薄膜 海洋大气环境 抗氧化性能 摩擦学性能 
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
《摩擦学学报》2013年第1期29-35,共7页胡明 高晓明 张立平 伏彦龙 杨军 翁立军 刘维民 
采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试...
关键词：ZRN α-SiNx纳米多层薄膜 基体偏压 微观结构 机械及摩擦学性能 
Cr/Ag纳米多层薄膜膜-基结合强度及摩擦学性能研究被引量：4
《摩擦学学报》2012年第6期544-549,共6页胡明 张立平 高晓明 伏彦龙 杨军 翁立军 
采用中频磁控溅射技术在AISI 440C钢表面制备了不同调制周期的Cr/Ag纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)及高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了纳米多层薄膜的微观组织结构,通过划痕试验机与真空球-盘摩擦试验机分别测试了纳米多层薄...
关键词：磁控溅射 CR Ag纳米多层薄膜 膜-基结合强度 摩擦学性能 
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