纳米卫星

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纳米卫星微型连接器结构与工艺设计
《仪器仪表学报》1996年第S1期306-309,共4页伍克军 李达耀 陶友松 周福昌 
微型连接器是微型和纳米卫星研制中连接和测试其ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统不可缺少的部件。本文就连接器的结构和制造工艺做了初步的探讨，其中电子束ＣＡＤ和ＣＡＭ以及Ｘ射线ＬＩＧＡ工艺给出图形和工艺流程。
关键词：既n 
用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
《仪器仪表学报》1996年第S1期310-313,共4页陶友松 付世民 李达耀 刘志雄 西门纪业 
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微...
关键词：电子束曝光系统 电子束曝光机 纳米卫星 电子光学柱 微型机械 结构设计 离子束 工件台 电气系统 光子束 
微米／纳米技术──面向21世纪的军民两用技术被引量：17
《仪器仪表学报》1995年第S1期1-7,共7页丁衡高 
微米／纳米技术──面向２１世纪的军民两用技术丁衡高（中国国防科学技术工业委员会）自微电子技术问世以来，人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度结构的装置，并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器...
关键词：纳米技术 专用集成微型仪器 军民两用技术 微型机电系统 纳米卫星 面向21世纪 军事应用 微电子技术 微机电系统 纳米级 
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