多层互连

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相关领域：电子电信更多>>
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相关机构：瑞萨电子株式会社中国科学院国际商业机器公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《新材料产业》《微电子技术》《印制电路信息》《中国集成电路》更多>>
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超大规模集成电路多层互连新技术
《国际学术动态》1999年第1期28-34,共7页李炳宗 
1998年6月在美国加州硅谷Santa Clara举行了第15届国际超大规模集成电路多层互连技术会议(International VLSI Multilevel Interconnection Conference—VMI(-98)。参加会议的有美国、亚洲和欧洲各大半导体器件公司、研究机构和大学的...
关键词：超大规模集成电路 多层互连结构 互连技术 新技术 三元硅化物 金属硅化物 半导体器件 固相反应 半导体技术 制造技术 
第9届ULSI多层互连会议概述
《国际学术动态》1993年第1期42-44,共3页武国英 
关键词：集成电路 多层互连 
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