多层金属化

作品数：14被引量：12H指数：2
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肖特基二极管背面金属化工艺技术
《中国科技信息》2013年第15期111-111,共1页薛建国 
本文介绍了肖特基二极管背面金属化原理和制作过程,针对背面多层金属化系统的特点,分析了影响蒸发镀膜质量的原因,提出了相关解决措施。
关键词：电子束蒸发 肖特基二极管 欧姆接触 多层金属化 
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