浸没式光刻

作品数：43被引量：82H指数：4
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浸没式光刻照明系统中会聚镜的设计及公差分析被引量：1
《应用光学》2019年第5期876-881,共6页李美萱 董连和 
国家自然科学基金青年基金(61703056);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ);吉林工程技术师范学院博士科研启动基金项目(BSKJ201826)
为了实现掩膜面的均匀照明,采用非球面技术对浸没式光刻照明系统中会聚镜进行了设计,并对影响系统远心度的误差源进行了分析。设计的会聚镜数值孔径的一致性偏差在0.2%以内,像方远心度小于0.2mrad,以系统的远心度变化0.1mrad,数值孔径...
关键词：浸没式光刻 照明系统 会聚镜 远心度 公差分析 
基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计被引量：3
《红外与激光工程》2019年第9期217-225,共9页李美萱 李宏 张斯淇 张文颖 郭明 
国家自然科学基金青年科学基金(61703056);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ);吉林工程技术师范学院博士科研启动基金(BSKJ201826)
为满足浸没式光刻照明系统对掩模面高均匀性和不同照明模式的要求,对照明系统中的照明模式变换器进行了研究。采用衍射光学元件(Diffractive Optical Elements,DOE)来产生各种照明模式,从光栅结构出发,经两步变换分析了光栅转变为DOE的...
关键词：浸没式光刻 照明模式变换 衍射光学元件 离散抽样加密算法 
基于浸没式光刻光束稳定系统的反射镜被引量：1
《光子学报》2019年第2期40-49,共10页李美萱 李宏 张斯淇 郭明 付秀华 
国家自然科学基金青年基金(No.61703056);吉林省教育厅科学研究项目(No.JJKH20181363KJ);吉林省科技厅自然科学基金(No.20160101250JC);吉林工程技术师范学院博士科研启动基金(No.BSKJ201826)~~
根据浸没式光刻系统的技术要求,设计了光束稳定系统,通过两个反射镜消除光束的位置漂移和指向漂移.基于深紫外材料特性,选择JGS1作为反射镜的基底,Al2O3和MgF2为高、低折射率薄膜材料.通过膜系设计软件完成了高反射膜的设计和模拟分析,...
关键词：光学薄膜 光束稳定系统 非均匀性 吸收损耗 散射损耗 
光刻照明系统中新型均匀性补偿器的设计被引量：3
《激光与红外》2019年第1期105-109,共5页李美萱 阚晓婷 王美娇 
国家自然科学基金项目(No.91338116);吉林省教育厅科学研究项目(No.JJKH20181363KJ)资助
在超大规模集成电路中,为了满足波长193 nm数值孔径为1. 35的45 nm节点紫外光刻曝光光学系统对高分辨率的要求,设计了一种新型的均匀性补偿器件,用于提高照明系统的出射光均匀性从而实现光刻线条的高度均一性。该照明均匀性补偿器的主...
关键词：均匀性补偿器 浸没式光刻 高分辨率 传统照明 离轴照明 
浸没式光刻投影物镜光学薄膜被引量：4
《中国光学》2018年第5期745-764,共20页毕丹丹 张立超 时光 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)~~
深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法,为实现更小的元件特征尺寸,必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率,由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计,以及高NA光...
关键词：浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命 
浸没式光刻照明系统的照明模式变换器被引量：1
《红外与激光工程》2018年第6期162-167,共6页李美萱 董连和 
国家自然科学基金(91338116;11474037);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ);2018年度校级项目支持(可预置强度关联成像理论及实验研究)
研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试。采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析。给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析...
关键词：浸没式光刻照明系统 照明模式变换 衍射光学元件 光瞳整形 
浸没式光刻照明系统中非球面变焦系统设计被引量：1
《光子学报》2018年第1期42-48,共7页李美萱 王丽 董连和 
国家自然科学基金(Nos.91338116;11474037)资助~~
设计了一种非球面变焦光学系统,解决了NA 1.35浸没式光刻照明技术中内外相干因子调节、能量利用率不足、模块使用寿命短的问题,所设计的非球面变焦系统包括三个镜组、光阑面和像面.系统入瞳直径42mm,视场角1.89°,实现焦距范围700mm^1 8...
关键词：光学设计 变焦光学系统 非球面 浸没式光刻 照明系统 
非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用被引量：4
《红外与激光工程》2017年第11期234-239,共6页李美萱 王丽 董连和 赵迎 
国家自然科学基金(91338116;11474037)
NA1.35浸没式光刻照明系统是超大规模集成电路的核心设备,为了实现从Ar F激光器发出的光束经过一系列模块传输后到达掩模面的能量满足光刻曝光系统的要求,需要在系统中引入非球面透镜,以减少镜片数量,提高能量利用率。为解决现在非球面...
关键词：浸没式光刻 照明系统 非球面 优化控制 
光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析被引量：6
《激光与红外》2017年第7期842-847,共6页李美萱 王美娇 王丽 冷雁冰 董连和 
国家自然科学基金项目(No.91338116;No.11474037)资肋
在超大规模集成电路中,为了实现NA=1.35,波长193 nm处分辨率达到45 nm的目标,需要对影响光刻照明均匀性的误差源进行详细分析最终确定公差范围。复眼透镜是使光束在系统掩膜面上形成矩形均匀照明区域的关键元件。采用CODE V软件设计了...
关键词：浸没式光刻 高均匀性照明 分辨率 光学设计 公差分析 
浸没式光刻系统中光束扩束系统的设计
《科学中国人》2017年第3X期38-38,共1页李美萱 王美娇 
在超大规模集成电路中,为了满足45nm节点光刻曝光光学系统对高分辨率的要求,设计了一种光束扩束系统,用于提高照明系统的均匀性。由于准分子激光器在水平和垂直方向上光束发散角有较大差异,从激光器到照明系统的传输光路最长达20m,垂直...
关键词：浸没式光刻 光束扩束 光学设计 
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