精密工作台

作品数：78被引量：242H指数：9
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支撑机构对工作台振动传递率的影响
《电子工业专用设备》2023年第4期52-55,共4页李龙飞 赵宏宇 关宏武 李树彦 
针对精密工作台,研究其支撑机构对振动传递率的影响。通过仿真计算的方法,对比分析了接口布局、接口刚度、支撑板模态频率及阻尼等对支撑板至工作台的振动传递率影响。结果显示,支撑板的模态频率、支撑板与工作台的接口刚度、接口布局...
关键词：精密工作台 支撑板 阻尼 模态频率 振动传递率 
直线电机原理及其在精密工作台中的应用被引量：5
《电子工业专用设备》2017年第6期70-74,共5页张乾 谭立杰 程秀全 张永昌 
激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面,形成窄而深的激光划切槽,要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台同时具有较高的响应速度、准确的定位精度以及重复精度。首先对直线电机的原理进行研究,根据其外形特点...
关键词：直线电机 动力学模型 精密工作台 激光划切机 
双维工作台空气静压导轨研制被引量：1
《电子工业专用设备》1993年第3期16-23,共8页熊锋 
本文着重介绍了一种由空气静压止推轴承组成的空气静压导轨,论述了其结构原理、数据及实用化过程中解决的关键技术难题。为高精度工作台提供了一种良好的导轨机构。
关键词：空气静压止推轴承 空气静压导轨 双维精密工作台 
通用计算法在精密工作台精度分析中的应用被引量：2
《电子工业专用设备》1991年第1期6-18,共13页黄家贤 叶琪根 黄寿荣 孙旭明 
国家自然科学基金
本文应用无限小线性变换原理,导出了V—平型导轨工作台位置精度数学模型。通过实例说明新方法是正确的,并具有通用性广、精度高和计算简便等优点。
关键词：电子工业 计算法 工作台 精度分析 
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