多孔硅

作品数：1080被引量：1218H指数：12
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MACE法制备多孔硅的形貌及光致发光性能被引量：1
《微纳电子技术》2021年第5期392-396,共5页张艺 端木庆铎 
采用金属辅助化学腐蚀(MACE)法,通过控制不同的腐蚀时间制备出多孔硅。利用扫描电子显微镜(SEM)观察多孔硅形貌,分析结果表明,随着腐蚀时间的增加,硅表面腐蚀孔洞变大,孔洞深度增加,同时孔洞深度的增加速率随之变缓。采用325 nm He-Cd...
关键词：金属辅助化学腐蚀(MACE) 多孔硅 形貌 光致发光 发光强度 
表面多孔硅层对单晶硅太阳电池性能的影响（英文）
《微纳电子技术》2019年第3期187-194,共8页徐甲然 陈诺夫 石岱星 陶泉丽 吕国良 杨秀钰 张航 陈吉堃 
National Natural Science Foundation(61674013,51602022);Beijing Natural Science Foundation(2151004);Fundamental Research Funds for the Central Universities(2018QN054)
反射率对太阳电池的性能至关重要。采用电化学法在单晶硅衬底上制备多孔硅来降低器件的反射率,并采用快速热退火法对多孔硅层进行磷扩散处理,进而制备了单晶硅太阳电池。扫描电子显微镜(SEM)显示出单晶硅表面形成了孔径均匀的多孔硅层,...
关键词：太阳电池 多孔硅 反射率 快速热处理 磷扩散 
石墨烯对多孔硅光学性能的影响被引量：1
《微纳电子技术》2017年第9期585-590,共6页钱栋梁 葛道晗 程广贵 
国家自然科学基金资助项目(11404146)
采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀电流密度制备出不同孔径的多孔硅衬底。通过荧光分光光度计对多孔硅进行光致发光性能测试,测试结果发现腐蚀电流密度会对其光致发光性能产生影响,当腐蚀电流密度为30 mA/cm^2时,制备出的多孔硅光致发光性...
关键词：石墨烯 多孔硅 电流密度 复合材料 光致发光 
多孔硅复合材料的制备与应用研究进展
《微纳电子技术》2016年第12期787-796,共10页杨家乐 沈鸿烈 邢正伟 
国家自然科学基金资助项目(61176062);江苏省前瞻性联合创新项目(BY2013003-08);研究生创新基地(实验室)开放基金资助项目(KFJJ20160605);江苏省光伏科学与技术协同创新中心;江苏高校优势学科建设工程项目
多孔硅具有独特的结构和优异的物理、化学性能,基于多孔硅的复合材料性能更加优越,其应用前景值得期待。综述了多孔硅的起源及其发展过程。介绍了多孔硅复合材料的多种制备方法,其中重点介绍了电镀法和无电沉积法,讨论了沉积物形貌的影...
关键词：多孔硅复合材料 沉积方法 电镀法 无电沉积法 沉积物形貌 
MEMS微发火器件研究现状被引量：4
《微纳电子技术》2016年第6期381-386,393,共7页陈晓勇 董帅 熊继军 
国家自然科学基金(青年项目)资助项目(51505435);中国博士后基金资助项目(2014M551061)
首先分析了国内外关于微电子机械系统(MEMS)微发火器件的研究报道;接着从与MEMS微加工工艺兼容性、发火输出、安全性等角度对比了装药型微发火器件、爆炸箔基微发火器件、多孔硅基微发火器件、含能金属薄膜基微发火器件和半导体桥基微...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微发火器件 爆炸箔 多孔硅 含能金属 半导体点火桥 
基于MEMS技术的宏孔导电网络工艺
《微纳电子技术》2016年第5期316-320,共5页梁赪 吴大军 王连卫 
国家自然科学基金资助项目(61176108)
宏多孔硅基于MEMS技术,通过清洗、氧化、光刻和湿法刻蚀等工艺流程制备,其大比表面积的多孔三维结构可作为很好的骨架结构。以宏多孔硅为基底,在其表面以及通道内沉积集流层,制备的宏孔导电网络可作为微型储能器件电极的衬底。实验改进...
关键词：微机电系统(MEMS) 宏多孔硅(MPS) 宏孔导电网络(MECN) 化学镀镍 液流沉积 
用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析
《微纳电子技术》2014年第2期89-93,共5页许高斌 杨业汕 马渊明 陈兴 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA041101);安徽省科技攻关计划项目(10120106005)
摘要：采用双槽（自制）电化学腐蚀法在P型单晶硅表面制备多孔硅（PS）层，利用AFM技术分析多孔硅的表面形貌。研究分析了电流密度为20～60mA／cm2时，多孔硅的孔径、孔深和孔隙率，并分析测试了多孔硅对高浓度乙醇的气敏特性。结果表...
关键词：多孔硅(PS) 纳米吸气剂 电化学腐蚀法 气敏特性 灵敏度 
用于高效太阳电池的硅基微纳结构及制备被引量：1
《微纳电子技术》2011年第11期702-709,724,共9页窦丙飞 贾锐 陈晨 李昊峰 岳会会 陈宝钦 刘新宇 叶甜春 
国家重点基础研究发展计划(2009CB939703);国家自然科学基金项目(11104319;51172268);中国科学院太阳能行动计划;创新团队项目
介绍了用于高效太阳电池的几种硅基微纳结构的最新研究进展,重点介绍了几种硅基微纳结构的制备方法,如阳极腐蚀制备多孔硅、各向异性制绒以及气液固(VLS)生长纳米线等,并对各种方法的特点作了分析比较,指出了各种方法存在的问题。最后...
关键词：硅基微纳结构 太阳电池 陷光 纳米线 多孔硅 
15nm多孔硅超快过滤器
《微纳电子技术》2008年第3期183-183,共1页
据洛彻斯特大学研究人员报道，15nm的多孔硅膜可以使微流体过滤器更有效地进行蛋白质提纯和血液渗析。这种多孔硅膜过滤液体速度快且能把尺寸相近的分子分离开。该硅膜的过滤速度几乎是现在所用血液渗析膜的11倍，并且过滤时不会出现分...
关键词：多孔硅膜 过滤器 研究人员 液体速度 过滤速度 微流体 蛋白质 分子 
电化学刻蚀半导体的结构分析
《微纳电子技术》2008年第2期97-99,113,共4页申慧娟 
结合多孔硅(Si)、多孔砷化镓(GaAs)以及多孔磷化铟(InP)的不同孔形貌,综合分析了元素半导体硅及Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体GaAs、InP的刻蚀结构,系统地阐述了晶体结构在电化学刻蚀中的作用。化合物半导体由于存在晶格极化和各向异性,使得不同...
关键词：电化学刻蚀 多孔硅 电流控制模型 晶格极化 形貌 
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