多孔硅

作品数：1081被引量：1221H指数：12
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非对称银膜多孔硅-氟化钙等离子体波导及其波导灵敏度特性被引量：1
《物理学报》2021年第22期55-65,共11页王芳 陈亚珂 李传强 马涛 卢颖慧 刘恒 金婵 
国家自然科学基金(批准号:62075057);中国科学院界面物理技术重点实验室(批准号:CASKL-IPT2003);河南省高等学校重点科研项目基础研究项目(批准号:19B510006);河南师范大学博士启动课题(批准号:gd17167,5101239170010)资助的课题.
本文研究了一种非对称银膜多孔硅-氟化钙混合等离子体波导,并对其模式特性和波导灵敏度进行了分析.利用有限元方法分析了波导中两个不同偏振态基模(PM 1和PM 2)的有效折射率、传输损耗、归一化有效模场面积、品质因数和波导灵敏度,并对...
关键词：混合等离子波导 表面等离子体 传输特性 波导灵敏度 
银纳米颗粒/多孔硅复合材料的制备与气敏性能研究被引量：4
《物理学报》2015年第13期346-352,共7页严达利 李申予 刘士余 竺云 
国家自然科学基金(批准号:11104203);天津师范大学博士基金(批准号:52XB1416)资助的课题~~
采用双槽电化学腐蚀法以电阻率为10—15Ω·cm的p型<100>晶向的单晶硅片制备了孔径约为1.5μm,孔深约为15—20μm的p型多孔硅,并以此多孔硅作为基底采用无电沉积法通过调控沉积时间在其表面沉积了不同厚度的银纳米颗粒薄膜.采用扫描电...
关键词：多孔硅 银纳米颗粒 无电沉积 气敏性能 
带多孔硅表面缺陷腔的半无限光子晶体Tamm态及其折射率传感机理被引量：5
《物理学报》2014年第24期252-257,共6页陈颖 范卉青 卢波 
国家自然科学基金(批准号:61201112;61172044);河北省自然科学基金(批准号:F2013203250;F2012203169);中国博士后科学基金(批准号:2012M510765)资助的课题~~
结合表面缺陷半无限光子晶体Tamm态与多孔硅光学传感机理,在光子晶体表面缺陷腔中引入多孔硅,并利用其高效的承载机制,提出基于多孔硅表面缺陷光子晶体Tamm态的折射率传感结构.在半无限光子晶体中缺陷腔与原来的周期性分层介质结构的界...
关键词：光子晶体 多孔硅 表面缺陷腔 折射率传感器 
纳米压印多孔硅模板的研究被引量：4
《物理学报》2014年第1期337-344,共8页张铮 徐智谋 孙堂友 徐海峰 陈存华 彭静 
国家自然科学基金(批准号:61076042);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ16000205);国家高技术研究发展(863)计划(批准号:2011AA03A106)资助的课题~~
纳米压印模板通常采用极紫外光刻、聚焦离子束光刻和电子束光刻等传统光刻技术制备,成本较高.寻找一种简单、低成本的纳米压印模板制备方法以提升纳米压印光刻技术的应用成为研究的重点与难点.本文以多孔氧化铝为母模板,采用纳米压印光...
关键词：纳米压印 阳极氧化铝 多孔硅 拉曼光谱 
n型有序多孔硅基氧化钨室温气敏性能研究被引量：8
《物理学报》2013年第5期361-368,共8页胡明 刘青林 贾丁立 李明达 
国家自然科学基金(批准号:60771019);天津市应用基础及前沿技术研究计划(批准号:11JCZDJC15300)资助的课题~~
利用电化学腐蚀方法制备了n型有序多孔硅,并以此为基底用直流磁控溅射法在其表面溅射不同厚度的氧化钨薄膜.利用X射线和扫描电子显微镜表征了材料的成分和结构,结果表明,多孔硅的孔呈柱形有序分布,溅射10min的WO3薄膜是多晶结构,比较松...
关键词：有序多孔硅 氧化钨薄膜 二氧化氮 室温气敏性能 
水蒸气退火多孔硅发光性能的正电子谱学研究被引量：1
《物理学报》2010年第12期8915-8919,共5页李卓昕 王丹妮 王宝义 薛德胜 魏龙 秦秀波 
国家自然科学基金(批准号:10835006,10705031)资助的课题~~
使用正电子湮没寿命谱和正电子寿命-动量关联谱对水蒸气和真空条件下退火的多孔硅样品的微观缺陷结构进行表征,结合发射光谱测量结果,对影响多孔硅发光性能的因素进行了讨论.实验结果表明,水蒸气退火后样品孔壁表面的悬挂键减少,并出现...
关键词：多孔硅 光致发光 正电子湮没谱 
基于微结构参数建模的多孔硅绝热层热导率研究被引量：1
《物理学报》2010年第12期8794-8800,共7页许路加 胡明 杨海波 杨孟琳 张洁 
国家自然科学基金(批准号:60371030;60771019);先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室研究基金(批准号:ACMT-2008-05)资助的课题~~
多孔硅由于具有较低的热导率,因而可以将其作为半导体器件中的绝热层.与其他从边界散射等复杂微观热传导机制出发建模研究多孔硅的热导率不同,将多孔硅热导率影响机制更表观地归结到孔洞的存在和分布等结构因素上,把整个多孔硅视为由硅...
关键词：多孔硅 热导率 绝热层 孔隙率 
不同气氛下多孔硅中电子偶素湮没行为研究被引量：1
《物理学报》2010年第9期6647-6652,共6页李卓昕 王丹妮 王宝义 薛德胜 魏龙 秦秀波 
国家自然科学基金(批准号:10835006;10705031;60606011)资助的课题~~
使用正电子湮没谱学方法,在不同气氛下对电化学腐蚀法制备的多孔硅中电子偶素的湮没行为进行了系统的研究.正电子湮没寿命谱测试结果表明,样品中存在长达40ns的电子偶素湮没成分,并且进入多孔硅膜层的正电子约有80%形成电子偶素,具有非...
关键词：电子偶素 正电子湮没谱学方法 多孔硅 
有机吸附物对多孔硅微腔发光的影响被引量：4
《物理学报》2008年第8期5302-5309,共8页刘光友 谭兴文 王振 姚金才 熊祖洪 
教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-05-0772);教育部科学技术研究重点项目(批准号:105145);西南大学科学技术研究基金(批准号:SWNUB2005030)资助的课题~~
理论上,采用Bruggeman有效介质近似,研究了有机吸附物对多孔硅微腔的折射率及其光致发光谱的影响.实验上,采用计算机控制的电化学腐蚀法制备了多孔硅微腔样品,并利用机械泵油的蒸气分子与该微腔样品进行相互作用.研究发现,多孔硅微腔发...
关键词：Bruggeman近似 吸附物 多孔硅微腔 光致发光谱 
基于纳米压痕法的多孔硅硬度及杨氏模量与微观结构关系研究被引量：5
《物理学报》2007年第7期4032-4038,共7页杨海波 胡明 张伟 张绪瑞 李德军 王明霞 
国家自然科学基金(批准号:60371030)资助的课题.~~
采用电化学腐蚀制备多孔硅,利用场致发射扫描式电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)观测多孔硅的二维微观形貌,利用Nano Indenter XP中的纳米轮廓扫描仪组件(nano profilometry,NP)得到其三维拓扑分析图像,...
关键词：多孔硅 微观结构 硬度 杨氏模量 
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