刻蚀衍射光栅

作品数：8被引量：19H指数：3
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相关期刊：《红外与激光工程》《光子学报》《激光与光电子学进展》《激光技术》更多>>
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基于光子晶体反射镜的刻蚀衍射光栅设计与制备被引量：1
《红外与激光工程》2019年第9期226-231,共6页袁配 王玥 吴远大 安俊明 张家顺 祝连庆 
高等学校学科创新引智计划(先进光电子器件与系统学科创新引智基地D17021)
刻蚀衍射光栅作为波分复用/解复用器件,有望在光通信系统中得到广泛应用。在基于顶层硅厚度为220 nm的绝缘体上硅材料上设计并制作了一种新型刻蚀衍射光栅,该刻蚀衍射光栅引入六角晶格空气孔型光子晶体作为其反射镜。模拟结果显示,相较...
关键词：刻蚀衍射光栅 光子晶体 硅基光子学 波分复用/解复用 
硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计被引量：2
《激光技术》2017年第3期361-366,共6页陈鑫 武爱民 仇超 黄海阳 赵瑛璇 盛振 李伟 甘甫烷 
国家自然科学基金资助项目(61275112;61475180;11204340);上海市自然科学基金重点资助项目(14JC1407600);上海市自然科学基金资助项目(16ZR1442600)
刻蚀衍射光栅(EDG)作为实现波分复用功能的关键器件,对于片上光互连的实现至关重要。为了实现1310nm波段通道间隔为20nm的硅基EDG,采用了基尔霍夫标量衍射理论仿真方法进行理论设计和仿真验证,通过在闪耀光栅反射面引入布喇格反射光栅...
关键词：集成光学 刻蚀衍射光栅 硅基光互连 波分复用技术 
硅光子中波分复用技术研究被引量：11
《激光与光电子学进展》2014年第11期53-58,共6页安俊明 张家顺 王玥 王亮亮 潘盼 齐影 
国家自然科学基金(61274047;61307034);国家863计划(2011AA010303;2013AA031101);集成光电子学国家重点联合实验室自主研究课题
介绍了硅光子互连中4种波分复用器及相关单片集成发射接收芯片,其中硅纳米线阵列波导光栅及刻蚀衍射光栅波分复用器单个芯片就可以成倍扩展通道数,非常适合大通道数密集波分复用,马赫-曾德尔结构及微环谐振型波分复用器芯片通道数增大...
关键词：光学器件 集成光学 硅光子 波分复用 阵列波导光栅 刻蚀衍射光栅 微环谐振器 马赫-曾德尔干涉仪 
刻蚀衍射光栅解复用器的偏振色散分析
《Journal of Semiconductors》2005年第1期133-137,共5页庞冬青 宋军 何赛灵 
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :90 10 10 2 4;60 2 770 18)~~
介绍了一种将矩量法应用于刻蚀衍射光栅解复用器设计分析的偏振敏感型方法 .通过数值分析 ,证明提供的方法在分析器件色散响应方面比传统的标量方法更加接近实测结果 .分析了器件的偏振独立损耗和偏振色散差随入射角和衍射级的变化关系 ...
关键词：波分复用 解复用器 刻蚀衍射光栅 矩量法 色散 偏振 
低串扰平顶型刻蚀衍射光栅解复用器的设计被引量：3
《Journal of Semiconductors》2004年第2期195-199,共5页宋军 石志敏 何赛灵 
浙江省科技计划资助项目 (编号 :0 0 110 10 2 7)~~
介绍了一种低串扰、频谱响应平坦化的刻蚀衍射光栅 (EDG)解复用器的机理与设计方法 ,设计带有预整形输入的优化的多模干涉 (MMI)结构 .该设计采用了广角束传播方法 (BPM)、基耳霍夫衍射理论以及模式传输理论等方法 .给出一个优化的预整...
关键词：刻蚀衍射光栅 频谱平坦化 串扰 色散 
刻蚀波导粗糙面散射的矩量法数值分析被引量：3
《光子学报》2003年第11期1312-1315,共4页宋军 何赛灵 
浙江省科技计划重大项目 (项目编号 0 0 1 1 0 1 0 2 7)
用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析 基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法 对不同起伏高度的两...
关键词：粗糙面 散射 矩量法 Moilte CARLO方法 平面波导 刻蚀衍射光栅(EDG) 
刻蚀衍射光栅像差特性分析被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第10期1103-1108,共6页宋军 梅维泉 文泓桥 何赛灵 
浙江省科技计划资助项目 (编号 :0 0 110 10 2 7)~~
对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅 (EDG)的像差特性提出了一种简单方便的计算方法 ,分析了像差对刻蚀衍射光栅频谱响应的影响 .理论推导了基于基尔霍夫衍射、角谱衍射以及快速傅里叶变换等方法 .最终证明彗差会造成谱形失称 ,...
关键词：刻蚀衍射光栅(EDG) 波分复用 波像差 球差 彗差 串扰 耦合效率 
刻蚀衍射光栅色散特性分析被引量：1
《光子学报》2003年第3期318-322,共5页宋军 何赛灵 何建军 
浙江省科技计划重大项目 (项目编号 0 0 110 10 2 7)资助
对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅 (EDG)的色散特性提出了一种完整的计算方案 ,分析了器件强度响应和相位响应之间的内在关系 .同时通过模拟计算提出并验证了平坦化的同时加剧了色散 ,以及适当改善频谱响应带通纹波大小可以在...
关键词：色散 刻蚀衍射光栅(EDG) 波分复用 平坦化 相位响应 带通纹波 
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