空气轴承

作品数：191被引量：386H指数：8
导出分析报告
相关领域：机械工程更多>>
相关作者：冯凯孙建辉单晓杭张智敏李涛更多>>
相关机构：烟台东德实业有限公司哈尔滨工业大学湖南大学浙江工业大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项浙江省自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=电子工业专用设备x
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
精密测量技术——二维测量仪
《电子工业专用设备》2015年第1期34-38,共5页张建国 万承华 
目前国内LCD、IC封装及高精度PCB等行业快速发展,精度越来越高,线缝越做越小,因为定位、套合不良问题造成的报废也越来越大。由于大型精密测量仪开发存在技术难度大、前期投资多、市场需求量有限、投资见效慢等实际问题,国内测量仪市场...
关键词：机器外罩 干涉仪 空气轴承 
划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究被引量：5
《电子工业专用设备》2010年第6期16-20,共5页王明权 卫桁 
国家科技重大专项:极大规模集成电路制造装备与成套工艺国家科技重大专项;封装设备关键部件与核心技术项目;高速空气静压电主轴课题(2009ZX02021-001)资助项目
划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。
关键词：空气静压电主轴 空气轴承 主轴电机 动平衡 热变形 
一种应用于曝光机的新型z向系统方案及实验研究
《电子工业专用设备》2010年第1期37-40,共4页李霖 
z向系统是接触式曝光机的关键部件之一。设计了一种曝光机的新型z向系统方案,该方案采用气动控制的方式,通过控制气体压力来调整接触力,用空气轴承导向,完成找平、微分离的自动控制。对z向系统设计原理进行了详细介绍,并通过实验对其部...
关键词：z向系统 气动控制 空气轴承 
划片机气静压电主轴热态特性研究
《电子工业专用设备》2006年第7期24-28,共5页王明权 
从划片机气静压电主轴的工作机理出发,研究主轴电机的功率损耗发热、空气轴承的气膜剪切摩擦发热;根据分析结果提出减小主轴发热和加强散热的措施。
关键词：气静压电主轴 功率损耗 空气轴承 气膜剪切摩擦 主轴散热 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部