空心阴极效应

作品数：33被引量：150H指数：7
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新型MPCVD沉积模式制备高均匀性的D100mm金刚石薄膜被引量：2
《真空与低温》2022年第5期549-555,共7页张帅 安康 杨志亮 邵思武 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 郑宇亭 李成明 
国家自然科学基金(52102034);国家磁约束核聚变能发展研究专项(2019YFE100200);中央高校基本科研业务费(FRF-MP-20-48);北京科技大学顺德研究生院博士后研究经费(2020BH015)。
频率为2.45 GHz的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够沉积直径超过60 mm的金刚石薄膜,但由于MPCVD技术中等离子体的半球形分布特点,很难保证沉积出均匀性好的大尺寸薄膜,调整等离子体分布可以在一定程度上解决这一问题。基于数值...
关键词：数值模拟 MPCVD 均匀性 边缘弱空心阴极效应 金刚石膜 
电压对射频空心阴极放电特性的影响被引量：4
《真空科学与技术学报》2022年第4期282-289,共8页贺柳良 何锋 欧阳吉庭 王荣刚 
北京建筑大学2018年校级教育科学研究项目(Y1849)。
为了提高射频空心阴极放电中的等离子体密度,采用粒子网格(Particle-In-Cell,PIC)法与蒙特卡洛碰撞(MonteCarlo-Collision,MCC)模型相结合的方法(PIC/MCC法),研究了空心电极上施加的射频电压变化对射频空心阴极放电特性的影响。研究结...
关键词：射频放电 空心阴极放电 空心阴极效应 电子加热 PIC/MCC模拟 
伪火花放电初始发展过程的仿真研究被引量：2
《高电压技术》2021年第7期2572-2582,共11页闫家启 孙国祥 申赛康 丁卫东 
国家自然科学基金面上项目(51777163)。
伪火花放电是一种引燃于空心阴极结构,主放电通道呈现弥散特征的特殊低气压放电,在脉冲放电开关、电子束源等方面具有重要应用。为研究伪火花放电的初始过程,文中采用粒子模拟和蒙特卡洛碰撞方法(particle in cell/Monte Carlo collisio...
关键词：伪火花放电 PIC/MCC 空心阴极效应 触发时延 阳极电子电流 
第二十讲 真空离子镀膜
《真空》2019年第4期78-80,共3页张以忱 
如图21所示,用高熔点金属钽(或钨)管做阴极,坩埚做阳极,待真空室抽至高真空后,钽管中通过氩气,首先用数百伏电压点燃气体产生阴极辉光放电。由于空心阴极效应,钽管中电流密度很大,大量的氩离子轰击钽管管壁,使钽管温度升高至2300K以上,...
关键词：高真空 离子镀膜 空心阴极效应 辉光放电 电压下降 高熔点金属 氩离子轰击 电流密度 
铝溅射沉积速率与刻蚀槽深度变化关系研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2018年第7期610-614,共5页郑泽林 付学成 王英 权雪玲 刘民 
采用磁控溅射法制备铝膜是微电子工艺制备金属薄膜最常用的工艺之一,然而在使用磁控溅射设备制备铝膜时,往往会发现调用同一个工艺菜单,制备出的铝膜厚度会有所不同,最大相差接近40%。这对于制备高精度膜厚的铝膜具有严重的影响。我们...
关键词：磁控溅射 铝膜 刻蚀槽 空心阴极效应 溅射速率 变化关系 
伪火花开关管放电过程的测试分析被引量：1
《真空电子技术》2015年第6期54-57,共4页高崇 刘竞业 栾小燕 张明 
伪火花开关管是一种新型的冷阴极脉冲功率开关,具有放电电流大、工作电路简单的特点,由于其无需预热,因而使用寿命长。本文给出了伪火花开关管工作的完整放电波形,研究了伪火花开关管放电理论的相关阶段;并通过实验、测试对其触发性能...
关键词：伪火花开关管 空心阴极效应 触发时延 阳极着火时延 阳极电流上升时间 
双间隙伪火花开关沿面放电触发材料的测试与研究被引量：5
《真空电子技术》2014年第2期14-17,27,共5页栾小燕 张明 周亮 
本文介绍了一种新型大电流脉冲调制器件——双间隙伪火花开关,它利用介电材料沿面放电进行触发,双间隙导通脉冲大电流,可以用来调制不低于50kV、50kA的脉冲,并能直接用于替换氢闸流管以及高气压火花隙。本文就双间隙伪火花开关沿面放电...
关键词：伪火花开关 脉冲功率调制 空心阴极效应 沿面放电触发 
国内外渗碳和渗氮热处理工艺的新进展(三)被引量：6
《热处理技术与装备》2013年第6期1-9,共9页朱祖昌 许雯 王洪 
5活性屏离子的渗氮技术 [22-26]钢铁工件渗氮的典型处理温度为450~590℃,一般工件处于铁素体或铁素体＋渗碳体状态。依靠辉光放电的离子渗氮技术自上世纪70年代以来已获得愈来愈广泛的应用,但气体渗氮和盐浴渗氮（硫碳氮共渗）仍占65%...
关键词：离子渗氮 渗碳体 热处理工艺 国内外 钢铁工件 空心阴极效应 工件表面 原子结合 
双层辉光等离子制备TiN渗镀层摩擦学性能研究被引量：3
《应用基础与工程科学学报》2012年第5期922-929,共8页王成磊 高原 刘燕萍 徐晋勇 
国家自然科学基金(50764002);信息材料广西重点实验室主任研究课题(桂科能0710908-06-Z);广西区自然科学基金重点项目(2010GXNSFD013008)
采用双层辉光等离子表面合金化技术在钢铁材料表面直接复合形成超硬耐磨的TiN渗镀层.利用WTM-1E可控气氛微型摩擦磨损试验仪和GZTC-1磨粒磨损试验仪,对TiN渗镀层的摩擦磨损性能进行了研究.研究结果表明:在室温干滑动磨损试验条件下,TiN...
关键词：辉光放电 尖端放电 空心阴极效应 氮化钛 摩擦磨损性能 
一种新型大电流脉冲调制器件——伪火花开关被引量：12
《真空电子技术》2012年第5期38-41,58,共5页栾小燕 张明 周亮 
介绍了一种新型大电流脉冲调制器件——伪火花开关,它利用介电材料沿面放电进行触发,单间隙导通脉冲大电流。目前这种开关已完成产品化,可以用来调制不低于30kV、50kA的脉冲,电流上升速率高达5×1010 A/s,在负触发电压脉冲作用下,开关...
关键词：伪火花开关 脉冲功率调制 空心阴极效应 沿面放电触发 
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