互连工艺

作品数：38被引量：26H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：张昱曾翔君张卫丁士进王春青更多>>
相关机构：复旦大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊：《质谱学报》《电气传动》《微电子学》《集成电路应用》更多>>
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LCP系统集成技术中一种新型的垂直互连工艺被引量：2
《固体电子学研究与进展》2019年第5期386-389,共4页刘维红 康昕 杨春艳 刘鹏程 
国防基础科研项目(JCKY2016203C081)
液晶高分子聚合物(Liquid crystal polymer,LCP)作为一种新型的射频电子基板,广泛应用于射频电路系统集成。为了实现系统的小型化,垂直互连工艺被广泛用于异面信号之间的相互传输系统。但是LCP作为一种新型的集成工艺,在制作过程中难以...
关键词：LCP技术 系统集成 铜互连 
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