灰度掩模

作品数：20被引量：42H指数：4
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：高益庆颜树华吕海宝谌廷政戴一帆更多>>
相关机构：国防科学技术大学株式会社半导体能源研究所中国科学院南昌航空大学更多>>
相关期刊：《电光与控制》《压电与声光》《光电技术应用》《光电子．激光》更多>>
相关基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金湖北省自然科学基金江西省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=光电工程x
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
衍射光学元件灰度掩模板激光制作系统研究被引量：1
《光电工程》2004年第10期21-23,27,共4页漆新民 谌廷政 朱小进 高益庆 罗宁宁 王铮 
江西省自然科学基金资助项目
根据灰度掩模的制作理论,提出了由PP8000胶片输出仪、远心成像透镜组、平行准直He-Cd激光器构成的精缩投影曝光灰度掩模制作系统.通过灰度掩模平面不同位置处提供可变的透过率,经一次光刻后得到所需的衍射光学元件.该系统不仅可采用黑...
关键词：衍射光学元件 灰度掩模 激光曝光 激光光刻系统 
电寻址空间光调制器制作灰度掩模技术的研究被引量：5
《光电工程》2004年第7期46-49,64,共5页谌廷政 吕海宝 漆新民 高益庆 朱小进 
江西省测试与控制中心基金资助项目( KG200104006)
介绍了制作微光学元件灰度掩模的两种方案,它们分别使用TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)和DMD(数字微镜器件)两种电寻址空间光调制器,采用并行直写和实时掩模技术,提高了灰度掩模制作的速度和灵活性。刷新率的变化和黑栅衍射效应将导致...
关键词：灰度掩模 空间光调制器 衍射效率 微光学元件 
形成连续微光学元件的灰度掩模图形生成方法被引量：2
《光电工程》2000年第2期31-34,共4页周礼书 李学民 杜春雷 霍永峰 张益民 
中国科学院光电技术研究所所长基金资助!( JK980 5 )
针对利用灰度掩模制作连续微光学元件的方法 ,介绍了从元件结构到灰度图形的转换 ,灰度图形的修正 ,灰度图形的数字化以及图形编码等关键步骤。最后给出生成微透镜列阵掩模图形的实例。
关键词：微光学元件 灰度掩模 微型透镜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部