激光淀积

作品数：59被引量：152H指数：7
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相关机构：中国科学院华中科技大学中国科学院上海光学精密机械研究所南京大学更多>>
相关期刊：《功能材料》《电子科技文摘》《无机材料学报》《真空科学与技术学报》更多>>
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脉冲激光法淀积MgO薄膜及其结晶性能的研究被引量：3
《无机材料学报》2005年第6期1475-1480,共6页陈同来 李效民 张霞 高相东 于伟东 
国家973项目(2002CB613306)
研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,制备工艺参数对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度,而薄膜的生长速率则依赖于脉冲频率、衬底与靶材间的距离以及激光能量密度.通过对比不同靶材,即金属Mg...
关键词：脉冲激光淀积 MgO薄膜 硅衬底 RHEED 
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