张霞

作品数：3被引量：21H指数：3
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供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文主题：RHEED脉冲激光淀积PLDPLD法硅衬底更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《发光学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划上海市科学技术发展基金国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
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Zn_(1-x)Mg_xO薄膜p型导电和光学性能被引量：10
《发光学报》2006年第4期503-508,共6页张霞 李效民 陈同来 于伟东 高相东 张灿云 赵俊亮 
国家自然科学基金(90401010);上海市科技发展基金(046105009);上海市应用材料研究与发展基金(0516)资助项目
采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S i(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg0.19O,N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射(XRD...
关键词：超声喷雾热分解 P型Zn1-xMgxO薄膜 导电性能 光致发光 
脉冲激光法淀积MgO薄膜及其结晶性能的研究被引量：3
《无机材料学报》2005年第6期1475-1480,共6页陈同来 李效民 张霞 高相东 于伟东 
国家973项目(2002CB613306)
研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,制备工艺参数对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度,而薄膜的生长速率则依赖于脉冲频率、衬底与靶材间的距离以及激光能量密度.通过对比不同靶材,即金属Mg...
关键词：脉冲激光淀积 MgO薄膜 硅衬底 RHEED 
Si(100)衬底上PLD法制备高取向度AlN薄膜被引量：8
《无机材料学报》2005年第2期419-424,共6页张霞 陈同来 李效民 
国家973项目(2002CB613306)
采用脉冲激光沉积法(PLD),以KrF准分子为脉冲激光源,Si(100)为衬底,同时引 入缓冲层TiN和Ti0.8Al0.2N,制备了结晶质量优异的A1N薄膜,X射线衍射(XRD)及反射 式高能电子衍射(RHEED)分析表明A1N薄膜呈(001)取向、二维层状生长.研究发现,薄...
关键词：脉冲激光沉积 ALN薄膜 缓冲层 
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