极限真空度

作品数：30被引量：12H指数：2
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上海光源溅射离子泵性能测试
《真空》2021年第3期13-16,共4页李波 刘俊男 张敏 薛松 陈明 
高性能离子泵在同步辐射装置上的应用开发与示范(2017YFF0105803)。
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试。结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10^(-8)Pa的指标要求。SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了各自...
关键词：同步辐射 超高真空 溅射离子泵 极限真空度 抽速 残气谱图 
油扩散泵的维修
《真空》2004年第1期59-61,共3页骆定祚 
本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值。
关键词：油扩散泵 真空技术 设备维修 极限真空度 抽气速率 
油扩散泵的维修
《真空》2003年第5期61-63,共3页骆定祚 
本文为《实用真空技术》一书的核心章节 ,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验 ,理论与实践相结合 ,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述 。
关键词：油扩散泵 维修 《实用真空技术》 极限真空度 抽气范围 喷口 
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