集成传感器

作品数：162被引量：391H指数：8
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：黄庆安赵湛李青蒋庄德苏奇更多>>
相关机构：东南大学清华大学西安交通大学中国科学院电子学研究所更多>>
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多参量微纳集成传感器被引量：1
《微纳电子技术》2019年第2期119-125,共7页宋金龙 何常德 王任鑫 薛晨阳 张文栋 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2015AA042601);国家杰出青年科学基金资助项目(61525107);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61604134);山西省‘1331工程’重点学科建设计划经费资助项目
为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成,惯性质量块通过八个...
关键词：多参量微纳集成传感器 在线监测在线分析系统 小型化和集成化 压阻式振动传感器 铂电阻温度传感器 
MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制被引量：1
《微纳电子技术》2011年第3期189-193,共5页吕树海 杨拥军 徐淑静 张旭辉 
介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成,加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件,该器件通过微...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 温度传感器 加速度 角速率 热对流 
探空集成传感器设计
《微纳电子技术》2003年第7期583-585,589,共4页武宇 方震 赵湛 陈超 张博军 
中国科学院微系统创新项目资助
微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量 ,降低成本 ,提高系统的可靠性 ,具有重要的科学意义。本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性 ,分别采用空气导热检测法、铂电阻法和...
关键词：航空航天器 集成传感器 MEMS 导热检测法 湿度 气压 温度 
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