集成传感器

作品数：162被引量：391H指数：8
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基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作被引量：9
《Journal of Semiconductors》2007年第2期302-307,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 张大成 杨芳 孙剑 
国家自然科学基金(批准号:50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(批准号:2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(批准号:NCET-05-0842)资助项目~~
为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集成传感器的结构,制定了相...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 芯片 
东南大学MEMS教育部重点实验室
《Journal of Semiconductors》2006年第9期F0002-F0002,共1页
1．简介 东南大学1983年就开始了集成传感器的研究，并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERCφ88，Germany，p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果：1986年开始了硅片直接键合技术研究．并于1987年在——《Applied Surface Sci...
关键词：教育部重点实验室 东南大学 MEMS 集成传感器 固态电子器件 
量热式集成传感器的热电模拟及实验研究
《Journal of Semiconductors》1991年第10期625-632,共8页黄金彪 童勤义 
国家自然科学基金
本文把最热式传感器中的热传输看成行波,利用热电模拟及传输线分析方法,计算了热传输函数并得到了实验的验证,在此基础上进一步计算了传感器的增益稳定裕度、相对不平衡度和闭环增益等性能,为传感器的设计提供了重要的依据.该方法具有...
关键词：量热式 集成传感器 热电模拟 实验 
全集成式流量传感器被引量：6
《Journal of Semiconductors》1989年第1期55-61,共7页黄金彪 李斌 童勤义 周明 
国家自然科学基金(6866009)
本文介绍了利用恒定芯片温度原理工作的全集成式流量传感器,它由三部分组成.CMOS温度敏感级、CMOS运放和加热部分,这三部分由CMOS工艺集成在同一芯片上,不需附加工艺.本文在给出温度敏感级的理论分析和流量传感器工作原理的介绍后,报道...
关键词：集成传感器 流量传感器 CMOS 
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