集成光学

作品数：1493被引量：2391H指数：15
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基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵
《激光技术》2024年第6期832-837,共6页马鹏飞 于磊 王政 王鹏飞 张冶金 潘教青 
国家重点研发计划资助项目(2022YFB2804503);国家自然科学基金资助项目(62090053,61934007,62105324)。
为了避免全硅光学相控阵(OPA)的输出光功率饱和现象以及氮化硅的低移相效率,采用硅与氮化硅相结合的设计思路,在实现高功率输入的同时保证了调相效率;此外,硅基集成OPA为了避免通道间的相互耦合所引起的相位噪声,波导间距大于半波长,导...
关键词：集成光学 衍射 光栅 光学相控阵 
锗硅非对称耦合量子阱相位调制器特性的研究
《激光技术》2023年第5期587-591,共5页石浩天 江佩璘 张意 黄强 孙军强 
湖北省重点研发计划资助项目(2021BAA002)。
为了研究和论证锗硅材料体系在器件的工艺制备和理论性能上的优势,拓展锗硅量子阱结构的应用范围,采用数值仿真结合实际器件制备的方法,进行了理论分析和实验验证,设计了一种基于Ge/SiGe非对称耦合量子阱材料的光学相位调制器,并在实验...
关键词：集成光学 锗硅调制器 非对称耦合量子阱 相位调制 
从极紫外光刻发展看全球范围内的技术合作被引量：2
《激光技术》2023年第1期1-12,共12页曾海峰 郭磊 李世光 钟志坚 李琛毅 余江 李显杰 
江苏省科技成果转化专项资金资助项目(BA2021033)。
在针对芯片的“卡脖子”技术中,极紫外(EUV)光刻是最重要的一环。EUV光刻技术已经被广泛应用于最先进工艺节点的集成电路芯片制造之中。它的研发交叉融合了光学、机械、电子、控制、软件、材料、数学、物理等多个学科的知识。EUV光刻的...
关键词：集成光学 光刻 极紫外 集成电路 合作 发展 
基于硅基光子学的2维相控阵真时延网络被引量：3
《激光技术》2019年第5期666-671,共6页金俊傲 张强 余辉 郑史烈 章献民 
为了实现大规模2维相控阵天线的光学真时延系统,采用基于硅基光子学的二进制硅基集成二进制光延迟线技术,提出一种2维相控阵(N×N)真时延网络,利用2维相控阵结构的对称性以及行延迟和列延迟的独立控制,真时延网络的复杂度可以降低至(N-1...
关键词：集成光学 光学真时延 二进制时延线 相控阵天线 
基于波导间隔余弦分布的光学相控阵研究
《激光技术》2019年第1期98-102,共5页郭亚平 赵江 李波 
为了提高稀疏光学相控阵的精度和效率,采用输出波导间隔成余弦分布的结构,基于绝缘体上硅平台设计出1×16光学相控阵;结合有效折射率法和2-D有限差分传播法进行了远场强度分布仿真模拟。结果表明,边瓣抑制比从89.72%减小到41.46%,主瓣...
关键词：集成光学 光学相控阵 余弦分布 远场强度分布 光束偏转 
复合结构光子晶体耦合腔波导慢光特性研究被引量：5
《激光技术》2017年第4期591-595,共5页刘文楷 孙耀 董小伟 
国家自然科学基金资助项目(61007007);北方工业大学长城学者后备人才资助项目(CCXZ201307)
为了设计能够传输宽带低色散慢光的光子晶体波导,以三角晶格圆形介质柱光子晶体结构为基础,使用圆形散射元和椭圆形散射元进行周期性排列,采用平面波展开法对所设计的耦合腔波导进行了仿真分析。结果表明,调整缺陷行椭圆形散射元长轴R_...
关键词：集成光学 慢光 平面波展开法 群速度 光子晶体耦合腔 
硅基片上刻蚀衍射光栅及其平坦化设计被引量：2
《激光技术》2017年第3期361-366,共6页陈鑫 武爱民 仇超 黄海阳 赵瑛璇 盛振 李伟 甘甫烷 
国家自然科学基金资助项目(61275112;61475180;11204340);上海市自然科学基金重点资助项目(14JC1407600);上海市自然科学基金资助项目(16ZR1442600)
刻蚀衍射光栅(EDG)作为实现波分复用功能的关键器件,对于片上光互连的实现至关重要。为了实现1310nm波段通道间隔为20nm的硅基EDG,采用了基尔霍夫标量衍射理论仿真方法进行理论设计和仿真验证,通过在闪耀光栅反射面引入布喇格反射光栅...
关键词：集成光学 刻蚀衍射光栅 硅基光互连 波分复用技术 
SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展被引量：1
《激光技术》2017年第3期367-375,共9页张辉 桑胜波 菅傲群 段倩倩 张文栋 
国家自然科学基金资助项目(61471255;61474079;61501316;51505324);国家八六三高技术研究发展计划资助项目(2015AA042601);教育部博士点基金资助项目(20131402110013);山西省青年基金资助项目(2014021023-3)
SOI纳米光波导表面粗糙度会显著增加波导散射损耗,降低表面粗糙度是其在许多方面应用中亟待解决的关键问题之一。首先介绍了表面粗糙度概念,总结了表面散射损耗理论方面的研究进展。随后回顾了多种SOI纳米光波导表面粗糙度测量方法,以...
关键词：集成光学 光波导 表面粗糙度 散射损耗 
基于铌酸锂光子线的极化分裂器的设计和仿真被引量：1
《激光技术》2015年第5期694-696,共3页薛赞 陈迪 陈明 
为了设计一种基于铌酸锂光子线的极化分裂器,采用基于有限元法的电磁仿真软件,对该器件进行了优化和仿真分析,得到了结构尺寸紧凑的设计结果。同时考虑到常规工艺误差的影响,分析了波导宽度变化对器件的透射率的影响。结果表明,极化分...
关键词：集成光学 极化分裂器 铌酸锂光子线 带宽 
基于慢光效应的解波分复用器的设计与研究被引量：5
《激光技术》2015年第5期617-620,共4页吕淑媛 赵辉 
为了设计一种基于正方晶格光子晶体波导的三端口解波分复用器,利用光子晶体的光子带隙特性和光在光子晶体慢光波导中的传输特性,并采用平面波展开法及时域有限差分法对解波分复用器的特性进行了理论分析,数值计算了解复用器的空间和光...
关键词：集成光学 解波分复用器 时域有限差分法 光子晶体慢光波导 
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