集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李林瑛胡静涛郑秀红卢睿臧洁更多>>
相关机构：大连外国语大学中国科学院辽宁警察学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
相关基金：辽宁省教育厅高等学校科学研究项目沈阳市科技计划项目国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
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有滞留时间约束的集束型装备在线调度方法被引量：1
《系统仿真学报》2017年第2期337-345,共9页李林瑛 卢睿 李绍华 景雨 刁建华 
国家自然科学基金(61501082);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137;L2014011;L2014455;L2014456)
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法。外层算法通过改进量子进化算法用以...
关键词：在线调度 量子进化算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束 
有滞留时间约束的单臂集束型装备调度研究
《系统仿真学报》2016年第8期1776-1782,共7页卢睿 李林瑛 
辽宁省教育厅科学研究(L2014456)
考虑有滞留时间约束的单臂集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括单臂机械手和加工模块时序约束关系的混合整数规划模型,并从理论上证明了并行模块等价加工时间的合理性。在此模型基础上,分析了单臂机械手和加工模块的周期性加...
关键词：半导体制造 集束型装备 单臂机械手 可调度性分析 
有晶圆滞留时间约束的集束型装备调度问题研究被引量：7
《系统仿真学报》2014年第8期1775-1780,共6页卢睿 李林瑛 
辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2014141)
考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的...
关键词：半导体制造 集束型装备 双臂机械手 可调度性分析 线性规划模型 
半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究被引量：4
《系统仿真学报》2010年第8期1942-1946,共5页李林瑛 胡静涛 
沈阳市科技计划(108155-2-00)
针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模...
关键词：半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型 
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