工作台设计

作品数：79被引量：87H指数：5
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一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计被引量：5
《中国机械工程》2017年第9期1016-1020,1028,共6页曹瑞珉 郝丽娜 高金海 
国家自然科学基金资助项目(61573093)
针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大机构变形的主要因素;对直圆柔性铰链、平行板柔性铰链和倒圆角直梁型柔性铰链进行刚度计算;采用能量法和...
关键词：位移放大 柔性铰链 微动工作台 工作空间密度 
大面积液晶面板光刻机新型工作台设计
《中国机械工程》1995年第S1期11-12,153,共3页葛 林永水 石宗宝 王思年 吴淦淦 
论述曝光面积可达３３５．６ｍｍ×３５５．６ｍｍ（４″×１４″），套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５μｍ）液晶面版光刻机的新型工作台设计。
关键词：液晶面版光刻机 光刻机工作台 曝光间隙 掩模 基片 
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