光学邻近效应

作品数：34被引量：53H指数：3
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光学邻近效应的产生机理分析
《激光杂志》2000年第4期43-45,共3页石瑞英 郭永康 曾阳素 黄晓阳 
国家自然科学基金;教育部博士点基金;微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目
基于部分相干成像理论 ,考虑了投影曝光系统成像的非线性滤波特点 ,分析了投影光刻中的光学邻近效应 (OPE)产生的机理 ,模拟了掩模上线条的线宽、线间距的变化对光刻成像质量的影响。
关键词：光学邻近效应 相干成像 投影光刻 
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