光栅光阀

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基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
《光通信技术》2012年第4期22-24,共3页刘英明 徐静 李四华 吴亚明 
采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰...
关键词：体硅工艺 光栅光阀 光学调制器 绝缘体上硅 消光比 
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